Bomba de acionamento magnético Vortex em aço inoxidável MDS
Visão Geral do Produto
A bomba de vórtice de alta e baixa temperatura com acionamento magnético MDS possui partes molhadas em aço inoxidável. Com design de acionamento magnético sem selo de eixo, converte vedações dinâmicas em estáticas, garantindo a segurança e estabilidade da bomba em condições criogênicas e de alta temperatura. Projetada como bomba dedicada a semicondutores, a MDS atende pontos de controle de temperatura de precisão em toda a cadeia de processo de wafers, incluindo linhas de polimento e limpeza, condicionamento CMP, deposição de filmes finos (CVD/PVD), refrigeração de sistemas de gravação e equipamentos de empacotamento e teste. A vedação testada com detecção de vazamento de hélio mantém os meios de processo de alta pureza contidos e protege o ambiente da fab. O mesmo design compacto e sem vazamento suporta aplicações de IA e computação avançada: circuitos de refrigeração por microcanais, circuitos de refrigeração líquida para validação térmica de chips e servidores, e controle de temperatura de lentes ópticas. Com meios de −196°C a +400°C, a MDS trabalha com misturas água-glicol e outros refrigerantes em equipamentos OEM com espaço limitado.
Características do Produto
- O corpo da bomba é tratado com uma tecnologia de processamento tipo D altamente resistente ao desgaste
- Fundição de precisão com cera de temperatura média e tecnologia de tratamento de superfície em múltiplas etapas
- Tecnologia de vedação de alta pressão testada por detecção de vazamento de hélio
- Circuito de fluido em aço inoxidável livre de contaminação com vedação estática para meios de processo de semicondutores de alta pureza
- Hidráulica de vórtice compacta com alturas de 20–100 m a 0,5–8 m³/h para circuitos de controle de temperatura de precisão
- Apta para misturas água-glicol usadas em sistemas de refrigeração de chips de IA e microcanais
- Design compacto pronto para integração em equipamentos OEM de controle de temperatura e teste
Especificações Técnicas
| Modelo | Diâmetro | Motor | Parâmetro de desempenho | Peso da bomba (kg) | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Entrada | Tomada | Potência (kW) | (Hp) | Tensão (V) | Frequência (Hz) | Velocidade (rpm) | Altura máxima (m) | Capacidade máxima (L/min) | ||
| MDS-15 | G1/2" | G1/2" | 1.1 | 1,5 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 55 | 35 | 13,5 |
| MDS-20 | G3/4" | G3/4" | 1,5 | 2 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 70 | 60 | 22 |
| MDS-30 | G3/4" | G3/4" | 2.2 | 3 | 3Φ-380 | 50 | 2760 | 90 | 60 | 26 |
*O teste de características acima é baseado em transferência de água a velocidade normal sob 20°C. O erro dos parâmetros de desempenho é de aproximadamente ±10%. O desempenho da bomba varia conforme a proporção e densidade do meio líquido.
Características Principais
Resistente à corrosão
Baixo ruído
Estrutura da Bomba
A estrutura de produção da bomba MDS consiste na tampa da bomba, eixo, impulsor, corpo da bomba, bucha do eixo, anel de vedação, ímã interno, tampa de isolamento, ímã externo e motor, formando um conjunto resistente ao desgaste, à prova de vazamentos, para transferência de fluidos criogênicos e de alta temperatura.
Curva de Desempenho
A estrutura de produção da bomba MDS consiste na tampa da bomba, eixo, impulsor, corpo da bomba, bucha do eixo, anel de vedação, ímã interno, tampa de isolamento, ímã externo e motor, formando um conjunto resistente ao desgaste, à prova de vazamentos, para transferência de fluidos criogênicos e de alta temperatura.
Condição de Operação
| Temperatura média | Densidade média | Temperatura ambiente | Altitude máxima | Pressão máxima suportável |
|---|---|---|---|---|
| -196°C ~ +400°C | 0,6 ~ 2,0 | -50°C ~ +70°C | 5000m | 70 bar |
Área de Aplicação
A MDS é especificada em quatro grupos de aplicações onde tamanho compacto, ausência de vazamento e controle de temperatura de precisão se encontram.
Fabricação de semicondutores
Controle de temperatura de precisão e circulação de meios para linhas de polimento e limpeza de wafers, condicionamento térmico de CMP (planarização químico-mecânica), equipamentos de deposição de filmes finos (CVD/PVD), refrigeração de sistemas de gravação e equipamentos de empacotamento e teste. O confinamento estático testado com hélio e o circuito em aço inoxidável protegem os meios de processo de alta pureza contra contaminação e o ambiente da fab contra vazamentos.
Refrigeração de IA e computação avançada
Circuitos de refrigeração por microcanais, circuitos de refrigeração líquida para validação térmica de chips e servidores de IA, e circulação de líquido refrigerante em bancadas de teste compactas para hardware de computação de alta densidade. A bomba trabalha com misturas água-glicol sob pressão estável em baixo fluxo e se adapta a módulos de refrigeração OEM com espaço restrito.
Óptica e instrumentos de precisão
Controle de temperatura de precisão de lentes ópticas, câmaras e instrumentos de teste de alta e baixa temperatura, e sistemas de condicionamento térmico de nível laboratorial que exigem circulação estável e sem pulsação em formato compacto.
Equipamentos de processo e limpeza
Reatores de microcanais, equipamentos de limpeza ultrassônica e outras tarefas de circulação compactas em aplicações químicas e de processo que exigem transferência de fluidos resistente à corrosão e sem vazamento.
Certificação do Produto
