Производство полупроводников основано на контроле температуры. Каждый этап на передовом заводе — EUV-литография, химико-механическая полировка (CMP), плазменное травление, химическое осаждение из газовой фазы (CVD), ионная имплантация, оптическая метрология — зависит от поддержания рабочих жидкостей на оборудовании при стабильной заданной температуре, часто в пределах ±0,1 °C. Чиллеры и блоки управления температурным режимом (TCU), поддерживающие эту стабильность, продаются как готовое оборудование, но компонентом, который фактически перекачивает охлаждающую жидкость через них, является насос. Когда этот насос выходит из строя, пульсирует или загрязняет контур, пластина либо отправляется на утилизацию, либо возвращается после проверки с едва заметными дефектами, которые никто не хочет устранять. Мы более десяти лет поставляем насосы с магнитным приводом для проектов по охлаждению полупроводников и использованию фторированных охлаждающих жидкостей на Тайване, в Южной Корее и материковом Китае, включая долгосрочный проект на Тайване, поставляющий насосы серии MDW с синхронными двигателями с постоянными магнитами, специально разработанными для перекачки охлаждающей жидкости PFPE при отрицательных температурах.
В этом руководстве рассматривается вопрос выбора насоса для охлаждения полупроводниковых компонентов в 2026 году — году, когда отрасль одновременно строит более 18 новых заводов по производству 300-мм матриц, повышает технологические температуры до −80 °C и переходит от снятых с производства жидкостей Fluorinert и Novec от 3M к Galden PFPE и аналогам от сторонних производителей, содержащим гидрофобную эмульсию (HFE). Выбор насоса, который работал пять лет назад, не всегда является правильным сегодня.
1. Проблема насосов для охлаждения полупроводниковых устройств: от EUV-литографии до химико-механической полировки и травления.
Современное производство включает более десятка категорий оборудования, требующих активного жидкостного охлаждения. Для каждой категории требуется своя рабочая жидкость, своя заданная температура и разная устойчивость к возмущениям, вызванным работой насоса. Понимание всей этой картины является необходимым условием для разумного выбора насоса:
● Охлаждение источника и сканера для литографии в крайнем ультрафиолетовом диапазоне (EUV). — От −20 °C до +25 °C, ПФПЭ или смесь гликоля и воды, крайне жесткий диапазон пульсаций, поскольку оптическая юстировка смещается при вибрации.
● Влажная полировка и химико-механическая полировка (CMP). — Шлам и чистящие средства с регулируемой температурой, часто 20–40 °C, с высокими требованиями к чистоте (отсутствие ионов металлов в шламе).
● Плазменное травление и охлаждение тигля реактора PECVD — От −40 °C до +80 °C, фторированный PFPE-хладагент, непосредственно контактирующий с электростатическими зажимами и душевыми лейками.
● Охлаждение пучка ионной имплантации — Обычно используется водно-гликолевая смесь, но для вторичных петель при использовании высокоэнергетических имплантаторов применяется ПФПЭ.
● Инструменты для контроля и метрологии — оптический контроль, электронно-лучевая метрология, контроль масок. Контроль ±0,1 °C с практически нулевой пульсацией потока; именно здесь архитектура насоса имеет наибольшее значение.
● Тестирование и обкатка — Камеры термического шока, подвергающие чипы циклической обработке при температурах от −65 °C до +155 °C в двухфазных ваннах Fluorinert/Galden.
● Этапы криогенного процесса — Холодное травление при −100 °C, предварительный нагрев образца до −196 °C жидким азотом для усовершенствованной 3D-структуры NAND и HBM.
● Вспомогательные петли субфабрики — технологическая охлаждающая вода (PCW), сверхчистая вода, регенерация шлама. Меньшая точность, больший расход.
Пять инженерных ограничений являются определяющими для всех этих станций: нулевая утечка для защиты воздуха в чистых помещениях и дорогостоящих запасов ПФПЭ, сверхнизкий уровень загрязнения жидкости ионами металлов, отсутствие пульсаций потока в литографических и контрольных устройствах, возможность непрерывной работы при температурах от −196 °C до +290 °C, а также химическая совместимость с фторированными теплоносителями, свойства которых резко отличаются от воды. Ни одна единая архитектура насоса не охватывает все пять ограничений одновременно. Эффективным является набор решений, соответствующих конкретной станции.
2. Химический состав фторированных охлаждающих жидкостей: сравнение Galden PFPE, Fluorinert FC и HFE.
Прежде чем выбирать насос, необходимо знать, какая жидкость используется. Три основных семейства жидкостей для охлаждения полупроводников — это перфторполиэфиры (PFPE, продаются под брендом Galden компанией Syensqo/бывшей Solvay), перфторуглероды (PFC, продаются под брендом Fluorinert компанией 3M) и гидрофторэфиры (HFE, продаются компанией 3M под брендом Novec). С точки зрения инженера-технолога они выглядят похоже — прозрачные, диэлектрические, инертные, — но перекачивают совершенно разные жидкости.
Ключевые характеристики, имеющие значение при выборе насоса:
| Семейство охлаждающих жидкостей | Типичный бренд | Диапазон рабочих условий | Плотность при 25°C | Вязкость при −40 °C | Примечания со стороны насоса |
| ПФПЭ | Галл HT55–HT270 | от −70 до +290 °C | 1,7–1,9 г/см³ | 5–20 сП (HT55–HT135) | Стандартный отраслевой стандарт для обслуживания чиллеров/блоков управления трансмиссией; заменяет снятые с производства жидкости 3M. |
| ПФК | Флуоринерт FC-3283/FC-40/FC-72 | от +30 до +215 °C | 1,7–1,9 г/см³ | Н/Д (заморожено) | Производство 3M, начатое в октябре 2024 года (FC-3283), продлится до конца 2025 года. |
| HFE | Novec 7100/7200/7300/7500 | от −135 до +260 °C | 1,4–1,6 г/см³ | 0,4–1,5 сП | Более низкий потенциал глобального потепления, чем у PFC/PFPE; компания 3M прекращает производство; HFE используется в качестве альтернативы TMC/BestSolv. |
| Гликоль-вода | 50/50 этиленгликоль | от −35 до +105 °C | 1,07 г/см³ | 50–200 сП | Дешево, но не может достигать температур, необходимых для современных технологических узлов. |
Следует обратить внимание на три момента. Во-первых, Galden PFPE и Fluorinert PFC примерно вдвое плотнее воды — насос, рассчитанный на водоснабжение, будет работать с PFPE менее эффективно, поскольку та же гидравлическая мощность перекачивает меньший объем. Во-вторых, вязкость Galden резко возрастает при понижении температуры; ниже −50 °C даже низкокипящая марка HT55 приближается к пределу в 20 сП, при котором центробежная гидравлика начинает терять эффективность. В-третьих, стоимость этих жидкостей составляет от 200 до 500 долларов США за килограмм — каждая утечка приводит к потере запасов, каждый загрязненный литр — к работам по утилизации, а каждая капля на полу чистого помещения — к инциденту, связанному с охраной труда и окружающей среды.
3. Уход компании 3M: почему технические характеристики насосов пересматриваются в масштабах всей отрасли.
В декабре 2022 года компания 3M объявила о полном прекращении производства пер- и полифторалкильных веществ (ПФАС) к концу 2025 года. Первый конкретный шаг был сделан в октябре 2024 года с прекращением выпуска Fluorinert FC-3283, основного однофазного хладагента, используемого в бесчисленных чиллерах для полупроводников и станциях тестирования и испытаний. К концу 2025 года производство Novec и Fluorinert было полностью прекращено. Группы планирования производства, производители блоков управления тепловыми процессами (TCU) и поставщики насосов, такие как мы, работают над преодолением последствий.
При выборе насоса последствия очевидны:
● Переход на Galden PFPE изменяет рабочую точку гидравлического режима. PFPE имеет более высокую вязкость в холодном конце рабочего диапазона, чем заменяемые им марки Fluorinert. Кривая производительности насоса, опубликованная для FC-3283 при температуре −40 °C, больше недействительна для Galden HT80 при той же температуре. Существующие блоки управления нагнетательными насосами (TCU), которые исправно работали с жидкостями на основе FC, могут отклоняться от заданного значения после заправки.
● Альтернативы HFE имеют более низкую плотность, но более высокое давление пара. Температура кипения Novec 7100 составляет +61 °C; если насос работает при температуре, близкой к этой, критически важным параметром становится запас NPSH, а не напор. Кавитация возникает раньше в рабочем цикле, чем на PFPE.
● Использование регенерированных и сторонних жидкостей приводит к колебаниям их чистоты. TMC, BestSolv и другие поставщики предлагают заменители FC-3283 и Novec, включая восстановленный материал. Чистота, количество частиц и содержание растворенных металлов варьируются от партии к партии. Насос с закаленными или неметаллическими внутренними вкладышами обеспечивает защиту производительности таким образом, как это не может сделать стандартный насос из нержавеющей стали.
● Нормативное давление в отношении ПФАС продолжает усиливаться. Ограничения REACH в отношении длинноцепочечных ПФАС, меры по контролю со стороны Агентства по охране окружающей среды США в отношении ПФОА/ПФОС и предлагаемые более широкие правила в отношении фторированных соединений продолжают подталкивать заводы к созданию систем хранения с нулевым уровнем выбросов. Насосы с механическим уплотнением, используемые в системах с ПФПЭ, перестали быть просто проблемой технического обслуживания — они представляют собой риск нарушения экологических норм. Мы рассмотрели более широкую картину регулирования в нашем обзоре. Руководство по правилам регулирования ПФАС и требованиям к химическим насосам.
4. Разработка для сверхнизких температур: почему откачка при −80 °C отличается от других методов.
В большинстве каталогов насосов приводятся кривые производительности в зависимости от температуры воды (20 °C). Полупроводниковые охлаждающие насосы работают в режиме, где эти данные практически бесполезны. При работе при отрицательных температурах преобладают три тепловых эффекта:
Термическое сжатие и потеря зазора
Нержавеющая сталь сжимается примерно на 0,3% от комнатной температуры до −80 °C и еще на 0,1% до −196 °C. Пластиковые компоненты сжимаются сильнее. Если насос изготовлен с малыми зазорами при 20 °C, эти зазоры исчезают при криогенных температурах, и контакт металла с металлом происходит в течение нескольких секунд. Конструктивное решение заключается в асимметричном задании зазоров — насос, предназначенный для работы при −80 °C, изготавливается с рабочими зазорами при комнатной температуре, которые выглядят свободными, но затягиваются до нужного размера при рабочей температуре.
Характеристики магнита в зависимости от температуры
Неодим-железо-борные (NdFeB) магниты, являющиеся стандартным выбором для магнитоприводных насосов, работающих при комнатной температуре, теряют магнитный поток при понижении температуры ниже расчетной и восстанавливаются при нагревании. Они не размагничиваются при криогенных температурах так, как это происходит выше точки Кюри, но крутящий момент может снизиться на 10–20% при −80 °C. Для работы при сверхнизких температурах мы обычно завышаем размеры магнитной муфты на 25–30% в дополнение к увеличению вязкости при холодном пуске, а в насосе AYDH для жидкого азота мы используем специализированные криогенные магнитные пакеты, которые сохраняют крутящий момент до −196 °C.
Смазка подшипников в несмазывающей жидкости.
Насосы с магнитным приводом используют технологическую жидкость для смазки внутренних подшипников из карбида кремния или полиэфирэфиркетона (PEEK). Фторированные охлаждающие жидкости имеют очень низкое поверхностное натяжение и практически не обеспечивают граничной смазки, особенно в холодном состоянии. Зазоры между подшипником и валом, а также выбор материала подшипника должны соответствовать конкретной охлаждающей жидкости. Карбид кремния на карбиде кремния надежно работает с полиэфирэфиркетоном (PFPE) до −70 °C; ниже этого диапазона полимерные подшипники из PEEK превосходят подшипники из карбида кремния, поскольку они лучше переносят недостаточную смазку. Для наших Магнитный насос жидкого азота AYDHПодшипниковая система специально разработана для работы при температуре −196 °C, имеет компоненты, прошедшие глубокую криогенную обработку, и керамические изоляционные оболочки.
5. Почему архитектура магнитного привода обязательна для работы с фторированными охлаждающими жидкостями.
Для охлаждения полупроводников механический уплотнительный насос фактически устарел. Этому есть три причины:
● Запасы фторированных охлаждающих жидкостей слишком дороги, чтобы допустить утечку. Заправка 500-литровой хладагентной смеси Galden HT135 в чиллер представляет собой запасы жидкости на сумму от 100 000 до 250 000 долларов США. Утечка через уплотнение вала, приводящая к снижению объема заправки на 1% в месяц, представляет собой ежегодные потери в размере от пяти до шестизначных сумм еще до учета воздействия на охрану труда и технику безопасности или чистоту помещений. Разница в капитальных затратах на магнитный привод по сравнению с механическим уплотнением окупается за несколько месяцев.
● Протоколы охраны труда и техники безопасности для чистых помещений не допускают выбросов загрязняющих веществ. Капли PFPE в воздухе чистых помещений не просто загрязняют пластины — они приводят к немедленной остановке производства. Крупные покупатели литейного оборудования все чаще включают в спецификации терморегулирующих устройств и чиллеров бесшовную конструкцию.
● При круглосуточном обслуживании (24/7) период технического обслуживания не предусмотрен. Полупроводниковый завод работает каждую минуту, пока возможно производство пластин. Механические уплотнения изнашиваются предсказуемо, и график их отказов не совпадает с графиком работы завода. Насосы с магнитным приводом и подшипниками из карбида кремния продемонстрировали среднее время безотказной работы более 50 000 часов в чистых помещениях, что означает, что плановая замена подшипника совпадает с остановкой завода, а не запускает ее.
Для получения более подробной инженерной информации об архитектуре, включая выбор магнитов, потери от вихревых токов в металлических оболочках и момент развязки, см. наш раздел Руководство по выбору промышленных насосов с магнитным приводомДля применений с непрерывным режимом работы, где даже статическое уплотнительное кольцо в корпусе неприемлемо, вариант двигателя в корпусе идет еще дальше — ротор двигателя вращается внутри рабочей жидкости за тонким металлическим корпусом, полностью исключая магнитную связь. руководство по технологиям насосов с моторным приводом Рассматриваются три конструктивных варианта бессальникового привода.
6. Управление пульсациями для инструментов EUV, оптической метрологии и контроля качества пластин.
Из всех ограничений, накладываемых на насос системы охлаждения полупроводников, пульсация становится неожиданностью для начинающих интеграторов. В сканере EUV-излучения положение фотошаблона обеспечивается с точностью до одного нанометра. Оптическая колонна электронно-лучевого контрольного инструмента позволяет различать детали размером менее 5 нм. Любая вибрация, вызванная потоком жидкости в контуре охлаждения, передает механический шум в оптическую или механическую подсистему и ухудшает разрешение. Производители оборудования указывают насос как источник вибрации, а не просто как компонент, регулирующий поток и напор.
В данной системе три причины нежелательной пульсации со стороны насоса:
● Пульсация зубьев шестерни в шестеренчатых насосах с внешним зацеплением — небольшие периодические изменения потока при зацеплении и расцеплении зубьев шестерни.
● Возвратно-поступательное движение в поршневых или диафрагменных насосах — большие периодические скачки расхода между тактами; неприемлемо для любых высокоточных применений.
● Кавитационные пульсации вблизи предела NPSH — нерегулярный поток, возникающий из-за образования и схлопывания паровых пузырьков, особенно в условиях эксплуатации с высоким давлением конденсата, где точка кипения близка к рабочей температуре.
Конфигурации, которые мы указываем для обслуживания полупроводниковых устройств с низкой частотой пульсаций:
● Вихревые насосы с магнитным приводом (регенеративные турбинные насосы). Наши серии MDW и MDS обеспечивают практически непрерывный поток с амплитудой колебаний, обычно не превышающей 2% при номинальной нагрузке. Регенеративное турбинное рабочее колесо передает энергию множеством небольших этапов по периферии, а не отдельными проходами лопаток, что по своей природе сглаживает поток. Именно такую конфигурацию мы использовали в нескольких проектах по установке холодильных установок в полупроводниковой промышленности на Тайване и в Южной Корее.
● Бесщеточный привод постоянного тока с замкнутым контуром управления скоростью. Синхронные двигатели с постоянными магнитами, работающие с частотно-регулируемым приводом или датчиком постоянного тока, поддерживают скорость вращения в пределах ±0,5%, устраняя пульсации потока, вызванные скоростью. Это одна из наших 10 основных технологий, и она является стандартной для наших насосов, соответствующих полупроводниковым стандартам.
● Разрядный аккумулятор или демпфер мембраны. Для станций, наиболее чувствительных к пульсациям (сканеры EUV, колонны с электронным пучком), небольшой аккумулятор, размещенный на выходе насоса, снижает остаточные пульсации до уровня ниже 0,5% от пикового значения. Это скорее дополнение на системном уровне, чем функция насоса, но его стоит упомянуть.
7. Материалы и контактирующие с рабочей средой детали: подшипники из стали 316L, ПТФЭ, ПЭЭК и керамики.
Фторированные охлаждающие жидкости химически инертны практически ко всему, но загрязнения, поступающие в цех из насоса, — это не охлаждающая жидкость, а то, что она смывает с увлажненных поверхностей в течение тысяч часов работы. Поэтому технические характеристики материалов определяются контролем загрязнения, а не химической совместимостью:
● Нержавеющая сталь 316L. Материал, контактирующий со средой по умолчанию, используется в полупроводниковых насосах холодильного оборудования. Полировка до зеркального блеска с шероховатостью Ra 0,2 мкм или лучше минимизирует отслоение частиц. Подходит для эксплуатации с PFPE в течение десятилетий; не подходит для технологических жидкостей, содержащих HF (поэтому насосы для производственных нужд и электролитные/CMP-насосы должны перейти на конструкцию с фторполимерной футеровкой).
● Фторполимерная облицовка ПТФЭ/ПФА. Для работы со сверхчистыми материалами или с химическими составами, содержащими следы HF или кислых веществ (химическая полировка, мокрый лабораторный ремонт, регенерация электролита), конструкция с полным покрытием из ПТФЭ исключает выщелачивание ионов металлов до уровня частей на миллиард. Насос с магнитным приводом AMC-F с тефлоновым покрытием Он создан для выполнения этой категории обязанностей.
● Подшипники и компоненты защитной оболочки из полимера PEEK. Этот материал выбран для эксплуатации при отрицательных температурах, где термическое сжатие делает керамические оболочки хрупкими. PEEK демонстрирует превосходную криогенную прочность и химическую инертность; недостатком является более низкий температурный предел (обычно ≤ 200 °C).
● Подшипники из спеченного карбида кремния. Стандартный отраслевой материал для подшипников магнитоприводных насосов, работающих при комнатной температуре. Отличная твердость, практически нулевой износ, универсальная химическая совместимость. Менее требователен к смазке, чем PEEK; используйте в сочетании с защитой от сухого хода, если он применяется в условиях, когда расход жидкости может кратковременно упасть до нуля.
● Керамические изоляционные оболочки. Неметаллические защитные оболочки исключают потери от вихревых токов (отсутствие наведенного нагрева в оболочке от вращающегося магнитного поля), что важно при криогенных температурах, где даже несколько ватт паразитного тепла могут нарушить работу контура. Керамические оболочки являются стандартными для наших систем. Насос жидкого азота AYDH.
Для стандартных чиллеров с подшипниками из PFPE типичная конфигурация включает детали, контактирующие с рабочей средой, из стали 316L с зеркальной полировкой, подшипники из карбида кремния и тонкий металлический защитный кожух. Для работы с высокочастотными подшипниками или на мокром стенде используется полная облицовка из PTFE. Для метрологии с низкими температурами используется керамический кожух с подшипниками из PEEK. Дерево решений четко соответствует конкретной станции, а не единственной «наилучшей» конфигурации.
8. Метод расчета размеров насосов для полупроводниковых чиллеров и блоков управления тепловыми процессами.
Расчет размера насоса для системы охлаждения полупроводниковых приборов — это шестиэтапный процесс. Приведенная ниже сокращенная версия — это то, что используют наши инженеры-технологи, когда производитель блоков управления трансмиссией (TCU) или инженерная группа завода-изготовителя присылают нам технические условия:
● Шаг 1 — Определите охлаждающую жидкость и её плотность при низкой рабочей температуре. Плотность Galden HT80 при −40 °C составляет примерно 1,92 г/см³. Гидравлическая мощность насоса зависит от плотности, поэтому водяной насос мощностью 1,5 кВт при том же расходе и напоре превращается в насос из PFPE мощностью 2,9 кВт.
● Шаг 2 — Рассчитайте тепловую нагрузку и необходимый расход воды. Для инструмента, рассеивающего Q кВт при допустимом ΔT в контуре, объемный расход определяется формулой V[л/мин] = Q[кВт] / (ρ[кг/л] × Cp[кДж/кг·К] × ΔT[К] / 60). У Galden HT80 значение Cp составляет ~0,97 кДж/кг·К; для нагрузки инструмента 5 кВт при ΔT 3 °C это примерно 53 л/мин. Примените множитель 1,3× для запаса по мощности.
● Шаг 3 — Вычислите системный головной блок. Сумма статического напора, трения в трубопроводе (с учетом более высокой вязкости холодного ПФПЭ) и перепада давления на холодной пластине со стороны инструмента. Для полупроводниковых термоэлектрических преобразователей, подающих материал на компактные инструментальные пластины, общий напор обычно составляет 3–8 бар.
● Шаг 4 — Проверьте запас NPSH. При низких температурах у насоса Galden очень низкое давление пара, и NPSH редко является ограничивающим фактором; при работе с HFE вблизи точки кипения NPSH играет доминирующую роль. Четко укажите условия на стороне всасывания и выберите насос, рассчитанный на доступный NPSH плюс 30% запас.
● Шаг 5 — Подберите архитектуру насоса в соответствии с допустимой частотой пульсаций. Для литографии, метрологии и контроля качества: магнитовихревой насос с регенеративной турбиной. Для мокрого литья и химико-механической полировки: магнитовысос с футеровкой из ПТФЭ. Для испытаний и обкатки: стандартный магнитовихревой насос из стали 316L. Для криогенных технологических этапов: вариант с жидким азотом AYDH.
● Шаг 6 — Подтвердите с помощью анализа образца жидкости. Кривые, представленные в каталоге, построены на воде. Для критически важных применений в полупроводниковой промышленности запросите у поставщика тестирование на конкретном типе охлаждающей жидкости при фактической рабочей температуре, с измеренными данными о пульсациях и загрязнении. Мы предоставляем эту проверку по запросу для любого предложения по услугам Galden / Fluorinert / HFE.
9. Линейка полупроводниковых насосов Aulank: MDW, AYDH, PWH, AMC-F.
С 2015 года мы поставляем насосы с магнитным приводом и герметичными двигателями для полупроводниковой отрасли. В числе наших текущих проектов: тайваньский заказчик, использующий насосы серии MDW с синхронными двигателями с постоянными магнитами для перекачки фторированных жидкостей при низких температурах; южнокорейский производитель оборудования для охлаждения полупроводников, использующий установки MDW для тестирования интеграции в системы охлаждения; а также многочисленные китайские интеграторы оборудования и инструментов для химико-механической полировки, мокрой обработки и криогенных процессов. Типичный портфель продукции, который мы рекомендуем для полупроводниковых заводов, включает:
● Вихревой магнитный насос MDW из нержавеющей стали — Надежный агрегат для контуров чиллеров и терморегулирующих устройств, работающих на жидкостях Galden HT55–HT135 и аналогичных PFPE. Смачиваемые детали из стали 304/316L, зеркальная полировка, стандартный диапазон рабочих температур от −40 до +200 °C. Наиболее часто поставляемый нами агрегат для проектов охлаждения на заводах в Тайване и Южной Корее.
● Вихревой магнитный насос MDS из нержавеющей стали — То же семейство гидравлических систем, что и MDW, но с большей пропускной способностью для крупных центральных чиллерных установок и вспомогательных контуров.
● Магнитный насос жидкого азота AYDH — Криогенная маркировка для работы при температурах до −196 °C. Используется в системах циркуляции жидкого азота, в установках для холодного травления, лиофилизации и на этапах обработки пластин при сверхнизких температурах. Корпус насоса и керамическая изоляционная оболочка подвергнуты глубокой криогенной обработке.
● Вихревой насос с гибким корпусом PWH/PWD/PWM — Вариант с герметичным двигателем для непрерывной работы с высокочистыми материалами, где даже статические уплотнительные кольца представляют собой путь воздействия. Часто используется в контурах регенерации и восстановления PFPE, регенерации летучих органических соединений и технологических контурах на предприятиях с самыми высокими классами чистоты.
● Насос с магнитным приводом AMC-F с тефлоновым покрытием — Полностью футерованные ПТФЭ детали, контактирующие с рабочей средой, для работы в мокром боксе, суспензии для химико-механической полировки, электролите и в любых условиях, где HF-содержащие или кислотные химические вещества могут повредить сталь 316L. Загрязнение ионами металлов сведено к уровню частей на миллиард (ppb).
Типичные требования полупроводниковой отрасли включают: синхронные двигатели с постоянными магнитами вместо стандартных асинхронных (повышает эффективность связи и снижает пульсации), варианты постоянного тока и 24 В для чиллеров, интегрированных в оборудование, покрытие и упаковку, совместимые с чистыми помещениями, нестандартные размеры фланцев, соответствующие существующим габаритам блока управления трансмиссией, взрывозащищенные варианты для зон обработки паров HFE и DMC, а также полные протоколы контроля качества с отслеживаемостью материалов для квалификации производства.
Наши магнитовихревые насосы имеют сертификат TÜV CE, наш более широкий ассортимент продукции соответствует требованиям качества ISO 9001 и CE, и мы обладаем более чем 50 техническими патентами, охватывающими конструкцию синхронного привода с постоянными магнитами, криогенную магнитную муфту и гидравлику экранированного вихря, используемые в этом семействе продукции.
Получите конфигурацию насоса для охлаждения полупроводников.
Независимо от того, являетесь ли вы производителем оборудования для сборки чиллеров, блоков управления температурным режимом или оборудования для обработки пластин, или же конечным пользователем, выбирающим насосы для новой линии или проекта по переходу на использование PFPE, наша инженерная команда сможет подобрать подходящую архитектуру насоса с магнитным приводом для каждой станции и проверить ее соответствие фактическому типу охлаждающей жидкости и условиям эксплуатации.
Свяжитесь с нашей командой: Связаться с нами | WhatsApp: +86 13773157367 | Электронная почта: [email protected]
Просмотрите соответствующие страницы продуктов и решений:
● Серия магнитных вихревых насосов