Bombas para refrigeración de semiconductores: Guía de selección de bombas de accionamiento magnético para sistemas de refrigeración Galden, Fluorinert y HFE.

La fabricación de semiconductores depende del control de la temperatura. Cada paso en una fábrica de vanguardia —litografía EUV, CMP, grabado por plasma, CVD, implantación iónica, metrología óptica— depende de mantener los fluidos del lado de la herramienta a un punto de ajuste estable, a menudo dentro de ±0,1 °C. Los enfriadores y las unidades de control de temperatura (TCU) que mantienen esa estabilidad se venden como equipos terminados, pero el componente que realmente mueve el refrigerante a través de ellos es una bomba. Cuando esa bomba falla, pulsa o contamina el circuito, la oblea se desecha o regresa de la inspección con defectos sutiles que nadie quiere corregir. Hemos suministrado bombas de accionamiento magnético para proyectos de enfriadores de semiconductores y refrigerantes fluorados durante más de una década, incluyendo un proyecto de larga duración en Taiwán en el que suministramos bombas de la serie MDW con motores síncronos de imanes permanentes personalizados específicamente para la transferencia de refrigerante PFPE bajo cero.

Esta guía explica cómo seleccionar una bomba para el sistema de refrigeración de semiconductores en 2026, un año en el que la industria construirá simultáneamente más de 18 nuevas fábricas de semiconductores de 300 mm, reducirá aún más las temperaturas de proceso hasta los -80 °C y dejará de utilizar los fluidos Fluorinert y Novec de 3M (ya descatalogados) para adoptar los fluidos Galden PFPE y los sustitutos HFE de terceros. Las bombas que funcionaban hace cinco años no son automáticamente las adecuadas hoy en día.

1. El desafío de las bombas de refrigeración de semiconductores: de la litografía EUV al CMP y el grabado.

Una fábrica moderna cuenta con más de una docena de categorías de herramientas que requieren refrigeración líquida activa. Cada una utiliza un fluido diferente, tiene un punto de ajuste de temperatura distinto y una tolerancia diferente a las perturbaciones causadas por la bomba. Comprender el panorama completo es fundamental para una especificación adecuada de la bomba.

● Refrigeración de la fuente de litografía EUV y del escáner — De −20 °C a +25 °C, PFPE o mezcla de glicol y agua, presupuesto de pulsación extremadamente ajustado debido a que la alineación óptica varía con la vibración.

● Banco húmedo y CMP (pulido químico-mecánico) — Suspensión y procesos químicos de limpieza con temperatura controlada, a menudo entre 20 y 40 °C, con altos requisitos de pureza (sin iones metálicos en el recorrido de la suspensión).

● Refrigeración del mandril del reactor de grabado por plasma y PECVD — De −40 °C a +80 °C, refrigerante PFPE fluorado en contacto directo con soportes electrostáticos y cabezales de ducha.

● Refrigeración de la línea de haz de implantación iónica — Normalmente se utiliza una mezcla de agua y glicol, pero los bucles secundarios para implantadores de alta energía utilizan PFPE.

● Herramientas de inspección y metrología — Inspección óptica, metrología por haz de electrones, inspección de máscaras. Control de ±0,1 °C con pulsación de flujo casi nula; aquí es donde la arquitectura de la bomba cobra mayor importancia.

● Prueba y rodaje — Cámaras de choque térmico que someten los chips a ciclos de temperatura entre -65 °C y +155 °C en baños bifásicos de Fluorinert/Galden.

● Pasos del proceso criogénico — Grabado en frío a −100 °C, precalentamiento de la muestra a −196 °C con nitrógeno líquido para el apilamiento avanzado de memorias NAND 3D y HBM.

● Circuitos de servicios auxiliares de subfabricación — Agua de refrigeración de proceso (PCW), agua ultrapura, recuperación de lodos. Menor precisión, mayor caudal.

Cinco limitaciones de ingeniería son comunes a todas estas estaciones: cero fugas para proteger el aire de la sala limpia y el costoso inventario de PFPE, contaminación ultrabaja por iones metálicos en el fluido, flujo sin pulsaciones en las herramientas de litografía e inspección, capacidad para operar continuamente a temperaturas de −196 °C a +290 °C y compatibilidad química con fluidos de transferencia de calor fluorados cuyas propiedades difieren notablemente de las del agua. Ninguna arquitectura de bomba individual cumple con las cinco limitaciones a la vez. Lo que funciona es una gama de soluciones adaptadas a cada estación.

2. Química de los refrigerantes fluorados: Comparación entre Galden PFPE, Fluorinert FC y HFE

Antes de especificar una bomba, es necesario conocer el fluido. Las tres familias que predominan en la refrigeración de semiconductores son los perfluoropoliéteres (PFPE, comercializados bajo la marca Galden por Syensqo/antes Solvay), los perfluorocarbonos (PFC, comercializados bajo la marca Fluorinert por 3M) y los hidrofluoroéteres (HFE, comercializados por 3M como Novec). Desde la perspectiva de un ingeniero de procesos, parecen similares —transparentes, dieléctricos e inertes—, pero su comportamiento como fluidos de bombeo es muy diferente.

Propiedades clave que importan a la hora de seleccionar una bomba:

Hay tres aspectos a tener en cuenta. Primero, Galden PFPE y Fluorinert PFC son aproximadamente el doble de densos que el agua; una bomba diseñada para agua tendrá un rendimiento inferior con PFPE, ya que la misma potencia hidráulica mueve un volumen menor. Segundo, la viscosidad de Galden aumenta bruscamente a medida que baja la temperatura; por debajo de -50 °C, incluso el grado HT55 de bajo punto de ebullición se acerca al límite de 20 cP, a partir del cual los sistemas hidráulicos centrífugos comienzan a perder eficiencia. Tercero, los fluidos cuestan entre 200 y 500 USD por kilogramo; cada fuga representa una pérdida de inventario, cada litro contaminado implica trabajo de recuperación y cada gota en el suelo de la sala limpia desencadena un incidente de seguridad, salud y medio ambiente (HSE).

3. La salida de 3M: Por qué se están reexaminando las especificaciones de las bombas en toda la industria.

En diciembre de 2022, 3M anunció que abandonaría por completo el negocio de las sustancias perfluoroalquiladas y polifluoroalquiladas (PFAS) para finales de 2025. El primer paso concreto se dio en octubre de 2024 con la interrupción de la producción de Fluorinert FC-3283, el refrigerante monofásico de referencia utilizado en innumerables enfriadores de semiconductores y estaciones de prueba y envejecimiento. Para finales de 2025, la producción de las líneas completas de Novec y Fluorinert había cesado. Los grupos de planificación de fábricas, los fabricantes de TCU OEM y los proveedores de bombas como nosotros hemos estado analizando las consecuencias.

Para la selección de la bomba, las consecuencias son concretas:

● La migración hacia Galden PFPE modifica el punto de operación hidráulica. El PFPE tiene una viscosidad mayor en el extremo frío del rango de operación que los grados Fluorinert a los que reemplaza. Una curva de bombeo publicada para el servicio FC-3283 a −40 °C ya no es válida para Galden HT80 a la misma temperatura. Las unidades de control de temperatura (TCU) existentes que funcionaban correctamente con fluidos FC pueden desviarse de su punto de ajuste después de un cambio de llenado.

● Las alternativas HFE tienen menor densidad pero mayor presión de vapor. El Novec 7100 hierve a +61 °C; si la bomba opera cerca de esa temperatura, el margen NPSH se convierte en la especificación crítica en lugar de la altura de elevación. La cavitación aparece antes en el ciclo de trabajo que en el PFPE.

● Los fluidos recuperados y procedentes de terceros introducen variabilidad en la pureza. TMC, BestSolv y otros proveedores ofrecen sustitutos de FC-3283 y Novec, incluyendo material reciclado. La pureza, el recuento de partículas y el contenido de metal disuelto varían de un lote a otro. Una bomba con revestimientos internos endurecidos o no metálicos protege el rendimiento de una manera que una bomba estándar de acero inoxidable no puede.

● La presión regulatoria sobre las sustancias PFAS sigue aumentando. Las restricciones de REACH sobre PFAS de cadena larga, la aplicación de la normativa de la EPA de EE. UU. sobre PFOA/PFOS y las propuestas de normas más amplias sobre compuestos fluorados siguen impulsando a las fábricas hacia la contención de cero emisiones. Las bombas de sello mecánico en servicio con PFPE ya no son solo un problema de mantenimiento, sino también un riesgo de incumplimiento ambiental. Abordamos el panorama regulatorio más amplio en nuestro artículo. Guía de normativas sobre PFAS y requisitos para bombas químicas.

4. Ingeniería para temperaturas ultrabajas: por qué el bombeo a -80 °C es diferente

La mayoría de los catálogos de bombas publican curvas de rendimiento con agua a 20 °C. Las bombas de refrigeración de semiconductores operan en un régimen donde esos datos son prácticamente inútiles. Tres efectos térmicos predominan en el funcionamiento a temperaturas bajo cero:

Contracción térmica y pérdida de espacio libre

El acero inoxidable se contrae aproximadamente un 0,3 % desde la temperatura ambiente hasta los -80 °C, y otro 0,1 % hasta los -196 °C. Los componentes plásticos se contraen aún más. Si una bomba se fabrica con tolerancias ajustadas a 20 °C, estas desaparecen a temperaturas criogénicas y el contacto metal con metal se produce en cuestión de segundos. La solución consiste en especificar tolerancias asimétricas: una bomba diseñada para funcionar a -80 °C se mecaniza con tolerancias de funcionamiento a temperatura ambiente que parecen holgadas, pero que se ajustan correctamente a la temperatura de funcionamiento.

Rendimiento del imán en función de la temperatura

Los imanes de neodimio-hierro-boro (NdFeB), la opción predeterminada para las bombas de accionamiento magnético a temperatura ambiente, pierden flujo magnético cuando la temperatura desciende por debajo de su punto de diseño y lo recuperan al calentarse. No se desmagnetizan a temperaturas criogénicas como lo hacen por encima de su punto de Curie, pero el acoplamiento de par puede disminuir entre un 10 % y un 20 % a -80 °C. Para el servicio a temperaturas ultrabajas, normalmente sobredimensionamos el acoplamiento magnético entre un 25 % y un 30 %, además de la penalización por viscosidad en el arranque en frío, y en la bomba de nitrógeno líquido AYDH utilizamos conjuntos de imanes especializados con clasificación criogénica que mantienen el par hasta -196 °C.

Lubricación de cojinetes en un fluido no lubricante

Las bombas de accionamiento magnético dependen del fluido del proceso para lubricar los cojinetes internos de carburo de silicio o PEEK. Los refrigerantes fluorados tienen una tensión superficial muy baja y prácticamente ninguna lubricación límite, especialmente en frío. Las holguras entre el cojinete y el eje, así como la elección del material del cojinete, deben coincidir con el refrigerante específico. El carburo de silicio sobre carburo de silicio funciona de forma fiable para PFPE hasta -70 °C; por debajo de ese rango, los cojinetes de polímero PEEK superan a los de SiC porque toleran mejor la lubricación marginal. Para nuestra Bomba magnética de nitrógeno líquido AYDHEl sistema de rodamientos está diseñado específicamente para funcionar a -196 °C, con componentes sometidos a un tratamiento criogénico profundo y carcasas de aislamiento cerámico.

5. Por qué la arquitectura de accionamiento magnético es obligatoria para el servicio de refrigerante fluorado

Para la refrigeración de semiconductores, la bomba de sello mecánico está prácticamente obsoleta. Esto se debe a tres razones:

● El inventario de refrigerante fluorado es demasiado caro como para permitirse fugas. Una carga de 500 litros de refrigerante Galden HT135 representa un inventario de fluidos de entre 100 000 y 250 000 USD. Una fuga en el sello del eje que reduce la carga en un 1 % al mes supone una pérdida anual de entre cinco y seis cifras, sin tener en cuenta el impacto en materia de seguridad, salud y medio ambiente (HSE) o en salas blancas. La diferencia en el coste de capital entre el accionamiento magnético y el sello mecánico se recupera en cuestión de meses.

● Los protocolos de seguridad, salud y medio ambiente para salas blancas no pueden tolerar emisiones fugitivas. Las gotas de PFPE en el aire de las salas blancas no solo contaminan las obleas, sino que también provocan el cierre inmediato de las instalaciones. La construcción sin sellado se incluye cada vez más en las especificaciones de las unidades de control de temperatura y los sistemas de refrigeración que especifican los principales compradores de fundiciones.

● El servicio continuo 24/7 no requiere mantenimiento. Una fábrica de semiconductores opera durante cada minuto de producción de obleas. Los sellos mecánicos se degradan de forma predecible y su ciclo de fallas no coincide con el de la fábrica. Las bombas de accionamiento magnético con cojinetes de carburo de silicio han demostrado un tiempo medio entre fallas (MTBF) superior a 50 000 horas en servicio en salas blancas, lo que significa que un cambio de cojinete planificado coincide con una parada de la fábrica en lugar de provocarla.

Para obtener información técnica más detallada sobre la arquitectura, incluyendo la selección de imanes, las pérdidas por corrientes parásitas en las carcasas metálicas de contención y el par de desacoplamiento, consulte nuestra Guía de selección de bombas industriales de accionamiento magnéticoPara aplicaciones de servicio continuo donde incluso una junta tórica estática de carcasa rellena es inaceptable, la variante de motor encapsulado va un paso más allá: el rotor del motor funciona dentro del fluido del proceso detrás de una delgada carcasa metálica, eliminando por completo el acoplamiento magnético. Guía de tecnología de bombas con motor enlatado Cubre las tres variantes estructurales de los sistemas de transmisión sin sellos.

6. Control de pulsaciones para herramientas de inspección de obleas, metrología óptica y EUV

De todas las limitaciones de una bomba de refrigeración de semiconductores, la que sorprende a los integradores novatos es la pulsación. La platina de retícula de un escáner EUV mantiene la alineación posicional con una tolerancia de un nanómetro. La columna óptica de una herramienta de inspección por haz de electrones resuelve características inferiores a 5 nm. Cualquier vibración inducida por el flujo en el circuito de refrigeración transmite ruido mecánico al subsistema óptico o mecánico y degrada la resolución. Los fabricantes de herramientas especifican la bomba como una fuente de vibración, no solo como un componente de flujo y presión.

Tres causas de pulsaciones no deseadas en el lado de la bomba en este servicio:

● Pulsación de los dientes de los engranajes en bombas de engranajes externas: pequeñas variaciones periódicas del caudal a medida que los dientes de los engranajes engranan y desengranan.

● El movimiento alternativo en las bombas de pistón o de diafragma provoca grandes fluctuaciones periódicas del caudal entre las carreras, lo cual resulta inaceptable para cualquier aplicación de precisión.

● Pulsación por cavitación cerca del límite de NPSH: flujo irregular debido a la formación y colapso de burbujas de vapor, particularmente en el servicio HFE donde el punto de ebullición está cerca de la temperatura de funcionamiento.

Configuraciones que especificamos para el servicio de semiconductores de baja pulsación:

● Bombas de vórtice (turbina regenerativa) de accionamiento magnético. Nuestras series MDW y MDS generan un flujo prácticamente continuo con una pulsación pico a pico generalmente inferior al 2 % en el punto de funcionamiento nominal. El impulsor de la turbina regenerativa transfiere energía en múltiples etapas pequeñas alrededor de su periferia, en lugar de hacerlo mediante pasadas discretas de las palas, lo que suaviza inherentemente la descarga. Esta es la configuración que hemos suministrado a varios proyectos de refrigeración para semiconductores en Taiwán y Corea del Sur.

● Accionamiento de motor CC sin escobillas con control de velocidad de circuito cerrado. Los motores síncronos de imanes permanentes con variador de frecuencia o control de CC con sensores mantienen la velocidad de rotación dentro de ±0,5 %, eliminando las fluctuaciones de caudal inducidas por la velocidad. Esta es una de nuestras 10 tecnologías principales y viene de serie en nuestras bombas con especificaciones para semiconductores.

● Acumulador de descarga o amortiguador de vejiga. Para las estaciones más sensibles a las pulsaciones (escáneres EUV, columnas de haz de electrones), un pequeño acumulador colocado en la descarga de la bomba reduce la pulsación residual a menos del 0,5 % de pico a pico. Se trata de una modificación a nivel de sistema, no de una función de la bomba, pero conviene mencionarla.

7. Materiales y partes en contacto con el fluido: 316L, PTFE, PEEK y cojinetes cerámicos.

Los refrigerantes fluorados son químicamente inertes frente a casi todo, pero la contaminación que llega a la planta desde la bomba no es el refrigerante en sí, sino los residuos que este elimina de las superficies mojadas tras miles de horas de funcionamiento. Por lo tanto, la especificación de materiales se basa en el control de la contaminación, no en la compatibilidad química.

● Acero inoxidable 316L. Material de contacto estándar para bombas de semiconductores de grado de refrigeración. Pulido a espejo con una rugosidad superficial Ra de 0,2 µm o superior para minimizar el desprendimiento de partículas. Apto para servicio con PFPE durante décadas; no apto para fluidos de proceso que contengan HF (motivo por el cual las bombas de servicios auxiliares de fabricación y las bombas de electrolitos/CMP deben adoptar una construcción con revestimiento de fluoropolímero).

● Revestimiento de fluoropolímero PTFE/PFA. Para un servicio ultrapuro o para procesos químicos que incluyen trazas de HF o especies ácidas (CMP, banco húmedo, recuperación de electrolitos), la construcción totalmente revestida de PTFE elimina la lixiviación de iones metálicos a niveles de ppb. Bomba de accionamiento magnético con revestimiento de PTFE AMC-F Está diseñado para esta clase de servicio.

● Cojinetes y componentes de la carcasa de contención de polímero PEEK. Seleccionado para aplicaciones bajo cero donde la contracción térmica vuelve frágiles las carcasas cerámicas. El PEEK muestra una excelente resistencia criogénica e inercia química; la desventaja es un límite de temperatura más bajo (normalmente ≤ 200 °C).

● Cojinetes de carburo de silicio sinterizado. Estándar industrial para cojinetes de bombas magnéticas a temperatura ambiente. Excelente dureza, desgaste prácticamente nulo y compatibilidad química universal. Menos tolerante que el PEEK a la lubricación marginal; se recomienda combinarlo con protección contra funcionamiento en seco si se utiliza en aplicaciones donde el caudal pueda reducirse brevemente a cero.

● Carcasas de aislamiento de cerámica. Las carcasas de contención no metálicas eliminan las pérdidas por corrientes parásitas (no hay calentamiento inducido en la carcasa por el campo magnético giratorio), lo cual es importante a temperaturas criogénicas donde incluso unos pocos vatios de calor parásito pueden perturbar el circuito. Las carcasas cerámicas son estándar en nuestros Bomba de nitrógeno líquido AYDH.

Para el servicio de refrigeración convencional con PFPE, la configuración típica incluye piezas en contacto con el fluido de acero inoxidable 316L con acabado pulido espejo, cojinetes de carburo de silicio y una delgada carcasa metálica. Para aplicaciones con cojinetes de alta frecuencia o en bancos húmedos, se utiliza un revestimiento completo de PTFE. Para metrología de precisión a temperaturas bajo cero, se emplea una carcasa cerámica con cojinetes de PEEK. El diagrama de flujo se adapta claramente a cada estación, no a una única configuración "óptima".

8. Método de dimensionamiento para bombas de enfriadores y unidades de control térmico (TCU) de semiconductores

El dimensionamiento de una bomba para el servicio de refrigeración de semiconductores es un protocolo de seis pasos. La versión abreviada que se muestra a continuación es la que utilizan nuestros ingenieros de aplicaciones cuando un fabricante de unidades de control de transmisión (TCU) o un equipo de ingeniería de fabricación nos envía una especificación:

● Paso 1: Identifique el refrigerante y su densidad a la temperatura de funcionamiento en frío. El Galden HT80 a -40 °C tiene una densidad de aproximadamente 1,92 g/cm³. La potencia hidráulica de la bomba aumenta con la densidad, por lo que una bomba de agua de 1,5 kW se convierte en una bomba de PFPE de 2,9 kW con el mismo caudal y altura de elevación.

● Paso 2: Calcular la carga de refrigeración y el caudal necesario. Para una herramienta que disipa Q kW con un ΔT permitido a través del circuito, el flujo volumétrico sigue V[L/min] = Q[kW] / (ρ[kg/L] × Cp[kJ/kg·K] × ΔT[K] / 60). Galden HT80 tiene Cp ~0,97 kJ/kg·K; para una carga de herramienta de 5 kW a 3 °C ΔT esto resulta en aproximadamente 53 L/min. Aplique un multiplicador de 1,3× para el margen de reducción.

● Paso 3 — Calcular el encabezado del sistema. Sume la presión estática, la fricción de la tubería (considerando la mayor viscosidad del PFPE frío) y la caída de presión a través de la placa fría del lado de la herramienta. Para las unidades de control de temperatura de semiconductores que alimentan placas de herramientas compactas, la presión total suele ser de 3 a 8 bar.

● Paso 4: Comprobar el margen NPSH. A bajas temperaturas, Galden presenta una presión de vapor muy baja y el NPSH rara vez es un factor limitante; en servicio HFE cerca de su punto de ebullición, el NPSH es el factor dominante. Especifique explícitamente las condiciones del lado de succión y seleccione una bomba con una capacidad nominal para el NPSH disponible más un margen del 30 %.

● Paso 5: Adapte la arquitectura de la bomba a la tolerancia a las pulsaciones. Para litografía, metrología e inspección: bomba de vórtice magnética de turbina regenerativa. Para banco húmedo y CMP: bomba magnética con revestimiento de PTFE. Para pruebas y rodaje: bomba de vórtice magnética estándar 316L. Para etapas de procesos criogénicos: variante de nitrógeno líquido AYDH.

● Paso 6: Validar con una prueba de fluido de muestra. Las curvas del catálogo se generan con agua. Para aplicaciones críticas de semiconductores, solicite al proveedor que realice pruebas con el refrigerante real a la temperatura de funcionamiento real, incluyendo datos de pulsación y contaminación. Ofrecemos esta validación para cualquier presupuesto de servicio de Galden/Fluorinert/HFE que se solicite.

9. Cartera de bombas semiconductoras Aulank: MDW, AYDH, PWH, AMC-F

Desde 2015, suministramos bombas de accionamiento magnético y de motor encapsulado al sector de semiconductores. Entre nuestros proyectos actuales se incluyen un cliente taiwanés del sector de semiconductores que utiliza bombas de la serie MDW con motores síncronos de imanes permanentes personalizados para la transferencia de líquidos fluorados a baja temperatura; un fabricante surcoreano de equipos de refrigeración para semiconductores que utiliza unidades MDW para pruebas de integración de refrigeración; y varios integradores de servicios auxiliares y fabricantes de equipos originales (OEM) de fábricas de semiconductores en China continental para procesos de CMP, bancos húmedos y criogénicos. El portafolio que solemos recomendar para la lista de materiales de bombas de una fábrica de semiconductores es el siguiente:

● Bomba magnética de vórtice de acero inoxidable MDW — El componente principal para los circuitos de refrigeración y TCU en fluidos Galden HT55–HT135 y PFPE equivalentes. Piezas en contacto con el fluido de acero inoxidable 304/316L, acabado pulido espejo, estándar de −40 a +200 °C. La unidad que más hemos enviado a proyectos de refrigeración de fábricas en Taiwán y Corea del Sur.

● Bomba de accionamiento magnético de vórtice de acero inoxidable MDS — Misma familia hidráulica que MDW, con mayor capacidad de caudal para plantas enfriadoras centrales más grandes y circuitos de servicios auxiliares de subfabricación.

● Bomba magnética de nitrógeno líquido AYDH — Apta para uso criogénico hasta −196 °C. Se utiliza en sistemas de circulación de nitrógeno líquido, herramientas de grabado en frío, liofilización y procesos de fabricación de obleas a temperaturas ultrabajas. Cuerpo de la bomba y carcasa de aislamiento cerámico con tratamiento criogénico profundo.

● Bomba de vórtice encapsulada PWH/PWD/PWM — La variante con motor encapsulado para servicio continuo de alta pureza, donde incluso las juntas tóricas estáticas representan una vía de exposición. Es común en los circuitos de recuperación y reciclaje de PFPE, recuperación de COV y circuitos de proceso en las clases de pureza más altas de la fábrica.

● Bomba de accionamiento magnético con revestimiento de PTFE AMC-F — Piezas en contacto con el fluido totalmente revestidas de PTFE para bancos de trabajo húmedos, lodos de CMP, electrolitos y cualquier aplicación donde la química ácida o que contenga HF pueda dañar el acero inoxidable 316L. La contaminación por iones metálicos se mantiene en niveles de ppb.

La personalización que suele solicitar el sector de los semiconductores incluye: motores síncronos de imanes permanentes en lugar de motores de inducción estándar (lo que mejora la eficiencia del acoplamiento y reduce la pulsación), variantes de CC y 24 V para enfriadores integrados en herramientas, recubrimiento y embalaje compatibles con salas blancas, dimensiones de brida personalizadas para que coincidan con la huella de la TCU existente, variantes a prueba de explosiones para las zonas de vapor HFE y DMC, y registros de inspección completos con trazabilidad de materiales para la cualificación de la fábrica.

Nuestras bombas de vórtice magnético cuentan con la certificación TÜV CE, nuestra amplia gama de productos cumple con los requisitos de calidad ISO 9001 y CE, y poseemos más de 50 patentes técnicas que abarcan la estructura de accionamiento síncrono de imanes permanentes, el acoplamiento magnético criogénico y el sistema hidráulico de vórtice blindado utilizado en esta familia de productos.

Obtenga una configuración de bomba de refrigeración de semiconductores

Ya sea que usted sea un fabricante de equipos originales (OEM) que construye enfriadoras, unidades de control de temperatura (TCU) o herramientas de procesamiento de obleas, o una fábrica de semiconductores que especifica bombas para una nueva línea o un proyecto de migración de PFPE, nuestro equipo de ingeniería puede adaptar la arquitectura de bomba de accionamiento magnético adecuada a cada estación y validarla en función del grado de refrigerante y las condiciones de funcionamiento reales.

Habla con nuestro equipo: Contáctanos | WhatsApp: +86 13773157367 | Correo electrónico: [email protected]

Consulte las páginas de productos y soluciones relevantes:

● Serie de bombas de vórtice magnético

● Serie de bombas químicas

● Soluciones de bombeo a prueba de fugas

● Soluciones de bombeo resistentes a la corrosión