Yarı iletken üretiminde sıcaklık kontrolü esastır. İleri teknolojiye sahip bir üretim tesisindeki her adım – EUV litografi, CMP, plazma aşındırma, CVD, iyon implantasyonu, optik metroloji – alet tarafındaki sıvıların genellikle ±0,1 °C içinde sabit bir ayar noktasında tutulmasına bağlıdır. Bu kararlılığı sağlayan soğutucular ve TCU'lar bitmiş ekipman olarak satılır, ancak soğutucuyu içlerinden geçiren bileşen aslında bir pompadır. Bu pompa arızalandığında, titreştiğinde veya devreyi kirlettiğinde, wafer ya hurdaya çıkarılır ya da kimsenin hata ayıklamak istemediği ince kusurlarla incelemeden geri gelir. On yılı aşkın bir süredir Tayvan, Güney Kore ve Çin anakarasındaki yarı iletken soğutucu ve florlu soğutucu projelerine manyetik tahrikli pompalar gönderiyoruz; bunlar arasında, özellikle sıfırın altındaki PFPE soğutucu transferi için özelleştirilmiş senkron kalıcı mıknatıslı motorlara sahip MDW serisi pompalar tedarik eden uzun soluklu bir Tayvan projesi de bulunmaktadır.
Bu kılavuz, 2026 yılında yarı iletken soğutma sıvısı servisi için bir pompa seçimine dair bilgiler içermektedir. Bu yıl, sektör aynı anda 18'den fazla yeni 300 mm'lik fabrika inşa ediyor, proses sıcaklıklarını -80 °C'ye doğru daha da düşürüyor ve 3M'in üretimi durdurulan Fluorinert ve Novec sıvılarından Galden PFPE ve üçüncü taraf HFE alternatiflerine geçiş yapıyor. Beş yıl önce işe yarayan pompa seçimleri, bugün otomatik olarak doğru seçimler olmayabilir.
1. Yarı İletken Soğutma Pompası Zorluğu: EUV Litografisinden CMP ve Aşındırmaya
Modern bir üretim tesisinde aktif sıvı soğutmaya ihtiyaç duyan bir düzineden fazla alet kategorisi bulunur. Her birinin farklı bir sıvısı, farklı bir sıcaklık ayar noktası ve pompa kaynaklı bozulmalara karşı farklı bir toleransı vardır. Tüm haritayı anlamak, mantıklı pompa spesifikasyonu için ön koşuldur:
● EUV litografi kaynağı ve tarayıcı soğutması — −20 °C ila +25 °C, PFPE veya glikol-su karışımı, optik hizalama titreşimle kaydığı için son derece dar titreşim aralığı.
● Islak tezgah ve CMP (Kimyasal Mekanik Parlatma) — Genellikle 20–40 °C sıcaklık aralığında çalışan, yüksek saflık gereksinimleri olan (bulamaç yoluna metal iyonu girmemesi gereken) bulamaç ve temizleme kimyasalları.
● Plazma aşındırma ve PECVD reaktör tutucu soğutması — −40 °C ila +80 °C, florlu PFPE soğutucu, elektrostatik tutucular ve duş başlıklarıyla doğrudan temas halinde.
● İyon implantasyon ışın hattı soğutması — Genellikle su-glikol kullanılır, ancak yüksek enerjili implantasyon cihazları için ikincil halkalarda PFPE kullanılır.
● Muayene ve metroloji araçları — Optik inceleme, elektron ışını metrolojisi, maske incelemesi. Neredeyse sıfır akış dalgalanmasıyla ±0,1 °C kontrol; pompa mimarisinin en çok önem taşıdığı yer burasıdır.
● Test ve çalıştırma — İki fazlı Fluorinert/Galden banyolarında çipleri -65 °C ile +155 °C arasında döngüsel olarak ısıl işlemden geçiren termal şok odaları.
● Kriyojenik işlem adımları — Gelişmiş 3D NAND ve HBM istifleme için -100 °C'de soğuk aşındırma, numunenin sıvı azotla -196 °C'ye kadar ön ısıtılması.
● Alt fabrika yardımcı devreleri — Proses soğutma suyu (PCW), ultra saf su, çamur geri kazanımı. Daha düşük hassasiyet, daha yüksek akış hızı.
Bu istasyonların tamamında beş mühendislik kısıtlaması geçerlidir: temiz oda havasını ve pahalı PFPE envanterini korumak için sıfır sızıntı, sıvının ultra düşük metal iyon kontaminasyonu, litografi ve inceleme aletlerinde titreşimsiz akış, -196 °C ile +290 °C arasındaki sıcaklıklarda sürekli çalışma yeteneği ve özellikleri sudan önemli ölçüde farklı olan florlu ısı transfer sıvılarıyla kimyasal uyumluluk. Hiçbir pompa mimarisi bu beş kısıtlamanın tamamını aynı anda karşılamaz. İşe yarayan şey, istasyona uygun bir portföydür.
2. Florlu Soğutma Sıvısı Kimyası: Galden PFPE, Fluorinert FC ve HFE Karşılaştırması
Pompa seçimi yapmadan önce, kullanılacak sıvıyı bilmeniz gerekir. Yarı iletken soğutmasında baskın olan üç sıvı ailesi perfloropolietherler (PFPE, Syensqo/eski Solvay tarafından Galden markası altında satılmaktadır), perflorokarbonlar (PFC, 3M tarafından Fluorinert markası altında satılmaktadır) ve hidrofloroeterlerdir (HFE, 3M tarafından Novec olarak satılmaktadır). Bir proses mühendisinin bakış açısından benzer görünürler — şeffaf, dielektrik, inert — ancak pompalama şekilleri çok farklıdır.
Pompa seçiminde önemli olan temel özellikler:
| Soğutucu Ailesi | Tipik Marka | Çalışma Aralığı | 25°C'deki yoğunluk | -40°C'deki viskozite | Pompa Yan Notları |
| PFPE | Gall HT55–HT270 | -70 ila +290 °C | 1,7–1,9 g/cm³ | 5–20 cP (HT55–HT135) | Soğutma üniteleri/TCU servisleri için endüstri standardı; üretimi durdurulan 3M sıvılarının yerini alır. |
| PFC | Fluorinert FC-3283 / FC-40 / FC-72 | +30 ila +215 °C | 1,7–1,9 g/cm³ | Yok (dondurulmuş) | 3M üretimi Ekim 2024'te (FC-3283) sona erdi ve 2025 yılının sonuna kadar devam edecek. |
| HFE | Novec 7100/7200/7300/7500 | -135 ila +260 °C | 1,4–1,6 g/cm³ | 0,4–1,5 cP | PFC/PFPE'den daha düşük GWP; 3M üretimi sonlandırıyor; HFE, TMC/BestSolv'den alternatifler sunuyor. |
| Glikol-su | 50/50 etilen glikol | -35 ila +105 °C | 1,07 g/cm³ | 50–200 cP | Ucuz, ancak gelişmiş düğümlerin gerektirdiği sıcaklıklara ulaşamıyor. |
Dikkat edilmesi gereken üç şey var. Birincisi, Galden PFPE ve Fluorinert PFC, suyun yaklaşık iki katı yoğunluğundadır; su servisi için boyutlandırılmış bir pompa, aynı hidrolik beygir gücü daha az hacim hareket ettirdiği için PFPE'de yetersiz kalacaktır. İkincisi, Galden'in viskozitesi sıcaklık düştükçe keskin bir şekilde artar; -50 °C'nin altında, düşük kaynama noktalı HT55 sınıfı bile santrifüj hidroliğin verimliliğini kaybetmeye başladığı 20 cP sınırına yaklaşır. Üçüncüsü, sıvıların kilogram başına maliyeti 200 ile 500 ABD doları arasındadır; her sızıntı bir stok kaybı, her kirlenmiş litre geri kazanım çalışması ve temiz oda zeminine düşen her damla bir İSG olayını tetikler.
3. 3M'in Piyasadan Çıkışı: Sektör Genelinde Pompa Özellikleri Neden Yeniden İnceleniyor?
Aralık 2022'de 3M, 2025 yılının sonuna kadar per- ve polifloroalkil maddeler (PFAS) işinden tamamen çekileceğini duyurdu. İlk somut kesinti, sayısız yarı iletken soğutucu ve test-yakma istasyonunda kullanılan temel tek fazlı soğutucu olan Fluorinert FC-3283'ün üretiminin durdurulmasıyla Ekim 2024'te gerçekleşti. 2025 yılının sonuna kadar Novec ve Fluorinert hatlarının tamamı üretimden kaldırıldı. Fabrika planlama grupları, OEM TCU üreticileri ve bizim gibi pompa tedarikçileri, bu durumun sonuçlarıyla başa çıkmak için çalışıyorlar.
Pompa seçimi söz konusu olduğunda, sonuçlar somuttur:
● Galden PFPE'ye doğru göç, hidrolik çalışma noktasını değiştirir. PFPE, çalışma aralığının soğuk ucunda, yerini aldığı Fluorinert kalitelerine göre daha yüksek viskoziteye sahiptir. −40 °C'de FC-3283 servisine karşı yayınlanan bir pompa eğrisi, aynı sıcaklıkta Galden HT80 için artık geçerli değildir. FC sıvılarında sorunsuz çalışan mevcut TCU'lar, yeniden doldurma işleminden sonra ayar noktalarından sapabilir.
● HFE alternatiflerinin yoğunluğu daha düşük, ancak buhar basıncı daha yüksektir. Novec 7100 +61 °C'de kaynar; pompa bu sıcaklığa yakın çalışırsa, basınçtan ziyade NPSH marjı kritik özellik haline gelir. Kavitasyon, PFPE'ye göre çalışma döngüsünün daha erken bir aşamasında ortaya çıkar.
● Geri kazanılmış ve üçüncü taraf kaynaklardan elde edilen sıvılar, saflık açısından değişkenlik gösterir. TMC, BestSolv ve diğer tedarikçiler, geri kazanılmış malzeme de dahil olmak üzere FC-3283 ve Novec yerine geçebilecek ürünler sunmaktadır. Saflık, partikül sayısı ve çözünmüş metal içeriği partiden partiye değişmektedir. Sertleştirilmiş veya metal olmayan iç astarlara sahip bir pompa, standart paslanmaz çelik bir pompanın sağlayamayacağı şekilde verimi korur.
● PFAS'a yönelik düzenleyici baskı giderek artıyor. Uzun zincirli PFAS'lara yönelik REACH kısıtlamaları, ABD Çevre Koruma Ajansı'nın (EPA) PFOA/PFOS'a yönelik yaptırımları ve önerilen daha geniş florlu bileşik kuralları, fabrikaları sıfır emisyonlu muhafazaya doğru itmeye devam ediyor. PFPE hizmetinde kullanılan mekanik contalı pompalar artık sadece bir bakım yükümlülüğü değil, aynı zamanda çevresel uyumluluk riski de oluşturuyor. Daha geniş düzenleyici tabloyu daha önce ele almıştık. PFAS düzenlemeleri ve kimyasal pompa gereksinimleri kılavuzu.
4. Ultra Düşük Sıcaklıklar İçin Mühendislik: -80 °C'de Pompalamanın Farklılığı
Çoğu pompa kataloğu, 20 °C'lik suya karşı performans eğrilerini yayınlar. Yarı iletken soğutma pompaları, bu verilerin neredeyse işe yaramaz olduğu bir rejimde çalışır. Sıfırın altındaki çalışma koşullarında üç termal etki baskındır:
Termal büzülme ve boşluk kaybı
Paslanmaz çelik, oda sıcaklığından -80 °C'ye kadar yaklaşık %0,3, -196 °C'ye kadar ise %0,1 daha büzülür. Plastik bileşenler daha fazla büzülür. Bir pompa 20 °C'de dar boşluklarla üretilirse, bu boşluklar kriyojenik sıcaklıklarda kaybolur ve saniyeler içinde metal-metal teması oluşur. Tasarım karşı önlemi, asimetrik boşluk spesifikasyonudur; -80 °C'de çalışmak üzere tasarlanmış bir pompa, oda sıcaklığında gevşek görünen ancak çalışma sıcaklığında doğru uyuma sıkılaşan çalışma boşluklarıyla işlenir.
Mıknatıs performansı ve sıcaklık arasındaki ilişki
Oda sıcaklığında manyetik tahrikli pompalar için varsayılan seçim olan neodim-demir-bor (NdFeB) mıknatıslar, sıcaklık tasarım noktalarının altına düştüğünde manyetik akılarını kaybeder ve ısıtıldığında geri kazanırlar. Kriyojenik sıcaklıklarda, Curie noktalarının üzerindeki sıcaklıklarda olduğu gibi manyetik özelliklerini kaybetmezler, ancak tork bağlantısı -80 °C'de %10-20 oranında düşebilir. Ultra düşük sıcaklık hizmeti için, soğuk çalıştırma viskozite cezasına ek olarak, mıknatıs bağlantısını genellikle %25-30 oranında daha büyük boyutlandırırız ve AYDH sıvı azot pompasında, torku -196 °C'ye kadar koruyan özel kriyojenik dereceli mıknatıs yığınları kullanırız.
Yağlama özelliği olmayan bir sıvıda rulman yağlaması
Manyetik tahrikli pompalar, iç silisyum karbür veya PEEK yataklarını yağlamak için proses sıvısına güvenir. Florlu soğutucular çok düşük yüzey gerilimine sahiptir ve özellikle soğukken neredeyse hiç sınır yağlaması yapmazlar. Yatak-şaft boşlukları ve yatak malzemesi seçimi, belirli soğutucuya uygun olmalıdır. Silisyum karbür-silisyum karbür yataklar, PFPE için -70 °C'ye kadar güvenilir bir şekilde çalışır; bu aralığın altında, PEEK polimer yataklar, marjinal yağlamaya daha iyi tolerans gösterdikleri için SiC'den daha iyi performans gösterir. Bizim için AYDH manyetik sıvı azot pompasıYatak sistemi, derin kriyojenik işlemden geçirilmiş bileşenler ve seramik izolasyon kabukları ile -196 °C'de çalışma için özel olarak tasarlanmıştır.
5. Florlu Soğutma Sıvısı Kullanımında Manyetik Tahrik Mimarisinin Zorunlu Olmasının Nedenleri
Yarı iletken soğutmasında, mekanik contalı pompa fiilen eskimiştir. Bunun üç nedeni vardır:
● Florlu soğutucu stokunun sızması çok pahalıya mal olur. 500 litrelik Galden HT135 soğutucu sıvısı, 100.000 ila 250.000 ABD doları değerinde sıvı stoğu anlamına gelir. Ayda %1'lik bir kayıp yaratan şaft contası sızıntısı, herhangi bir İSG veya temiz oda etkisi hesaba katılmadan önce beş ila altı haneli yıllık bir kayıp demektir. Manyetik tahrik sisteminin mekanik contaya göre sermaye maliyeti farkı aylar içinde geri kazanılır.
● Temiz oda İSG protokolleri, kaçak emisyonlara müsamaha gösteremez. Temiz oda havasındaki PFPE damlacıkları sadece yonga levhalarını kirletmekle kalmaz, aynı zamanda tesisin anında kapanmasına da neden olur. Sızdırmaz yapı, büyük dökümhane alıcıları tarafından TCU ve soğutucu ekipman spesifikasyonlarına giderek daha fazla doğrudan dahil edilmektedir.
● 7/24 kesintisiz hizmet veren bu sistemde bakım aralığı bulunmamaktadır. Bir yarı iletken üretim tesisi, üretebildiği her wafer üretim dakikasında çalışır. Mekanik contalar öngörülebilir bir şekilde bozulur ve arıza zaman çizelgeleri tesisin çalışma programıyla örtüşmez. Silisyum karbür yataklı manyetik tahrikli pompalar, temiz oda hizmetinde 50.000+ saatlik MTBF (Ortalama Arıza Arası Süre) göstermiştir; bu da planlı bir yatak değişiminin, tesisin kapanmasını tetiklemek yerine, kapanma zamanıyla eş zamanlı olarak gerçekleştiği anlamına gelir.
Mimariye ilişkin daha detaylı mühendislik bilgileri, mıknatıs seçimi, metalik muhafaza kabuklarındaki girdap akımı kayıpları ve ayırma torku dahil olmak üzere, lütfen aşağıdaki bağlantıya bakın. Endüstriyel manyetik tahrikli pompa seçim kılavuzuSürekli çalışma gerektiren ve hatta statik O-ring dolgulu bir sistemin bile kabul edilemez olduğu uygulamalar için, kutulu motor varyantı bir adım daha ileri gider; motor rotoru, ince bir metal kutunun arkasında, işlem sıvısının içinde çalışır ve mıknatıs bağlantısını tamamen ortadan kaldırır. konserve motorlu pompa teknolojisi kılavuzu Bu metin, conta gerektirmeyen tahrik sistemlerinin üç yapısal varyantını kapsamaktadır.
6. EUV, Optik Metroloji ve Yonga Levha İnceleme Araçları için Darbe Kontrolü
Yarı iletken soğutma pompaları üzerindeki tüm kısıtlamalar arasında, ilk kez entegrasyon yapanları şaşırtan en önemli faktör titreşimdir. Bir EUV tarayıcısının retikül tablası, konum hizalamasını tek nanometre toleransında tutar. Bir elektron ışınlı inceleme aletinin optik kolonu, 5 nm'nin altındaki özellikleri çözer. Soğutma devresindeki akış kaynaklı herhangi bir titreşim, optik veya mekanik alt sisteme mekanik gürültü iletir ve çözünürlüğü düşürür. Alet üreticileri, pompayı sadece akış ve basınç bileşeni olarak değil, aynı zamanda bir titreşim kaynağı olarak da belirtirler.
Bu serviste istenmeyen titreşime neden olan üç pompa tarafı sebebi şunlardır:
● Dıştan takmalı dişli pompalarda dişli titreşimi — dişlilerin birbirine geçip ayrılmasıyla oluşan küçük periyodik akış değişiklikleri.
● Pistonlu veya diyaframlı pompalarda ileri geri hareket; stroklar arasında büyük periyodik akış dalgalanmalarına neden olur; hassas uygulamalar için kabul edilemez.
● NPSH limitine yakın kavitasyon titreşimi — özellikle kaynama noktasının çalışma sıcaklığına yakın olduğu HFE servislerinde, buhar kabarcıklarının oluşması ve çökmesiyle oluşan düzensiz akış.
Düşük titreşimli yarı iletken servis için belirttiğimiz konfigürasyonlar:
● Manyetik tahrikli girdap (rejeneratif türbin) pompaları. MDW ve MDS serilerimiz, nominal çalışma noktasında tipik olarak %2'nin altında tepe-tepe titreşimle neredeyse sürekli akış sağlar. Rejeneratif türbin çarkı, enerjiyi ayrı kanat geçişleri yerine çevresi boyunca birçok küçük aşamada aktarır; bu da doğal olarak deşarjı düzleştirir. Bu konfigürasyonu, Tayvan ve Güney Kore'deki birçok yarı iletken soğutma projesine gönderdik.
● Kapalı devre hız kontrolüne sahip fırçasız DC motor sürücüsü. VFD veya sensörlü DC kontrolüne sahip senkron kalıcı mıknatıslı motorlar, dönüş hızını ±0,5% içinde tutarak hız kaynaklı akış dalgalanmasını ortadan kaldırır. Bu, 10 temel teknolojimizden biridir ve yarı iletken özellikli pompalarımızda standarttır.
● Deşarj akümülatörü veya membran sönümleyici. En hassas titreşimli istasyonlar (EUV tarayıcılar, elektron ışın kolonları) için, pompa çıkışına yerleştirilen küçük bir akümülatör, artık titreşimi tepe-tepe %0,5'in altına düşürür. Bu, pompa özelliğinden ziyade sistem düzeyinde bir eklentidir, ancak belirtmeye değer.
7. Malzemeler ve Islak Parçalar: 316L, PTFE, PEEK ve Seramik Rulmanlar
Florlu soğutucular neredeyse her şeye karşı kimyasal olarak inerttir, ancak pompadan tesise akan kirlilik soğutucu değil, soğutucunun binlerce çalışma saati boyunca ıslak yüzeylerden sıyırdığı her şeydir. Bu nedenle malzeme spesifikasyonu kimyasal uyumluluktan ziyade kirlilik kontrolüne göre belirlenir:
● 316L paslanmaz çelik. Soğutma sistemlerinde kullanılan yarı iletken pompaları için varsayılan ıslatma malzemesi. Parçacık dökülmesini en aza indirmek için Ra 0,2 µm veya daha iyi bir ayna parlaklığına sahiptir. PFPE'nin on yıllarca kullanım ömrü vardır; HF içeren proses sıvıları için uygun değildir (bu nedenle fabrika yardımcı pompaları ve elektrolit/CMP pompaları floropolimer astarlı yapıya geçmelidir).
● PTFE/PFA floropolimer astar. Ultra saf hizmetler veya eser miktarda HF veya asidik türler içeren kimyasal işlemler (CMP, ıslak tezgah, elektrolit geri kazanımı) için, tamamen PTFE kaplı yapı, metal iyonlarının ppb seviyelerine kadar sızmasını önler. AMC-F PTFE astarlı manyetik tahrikli pompa Bu görev sınıfı için üretilmiştir.
● PEEK polimer yataklar ve muhafaza kabuğu bileşenleri. Isıl büzülmenin seramik gövdeleri kırılgan hale getirdiği sıfırın altındaki sıcaklıklarda kullanım için seçilmiştir. PEEK mükemmel kriyojenik dayanıklılık ve kimyasal inertlik gösterir; dezavantajı ise daha düşük sıcaklık tavanıdır (tipik olarak ≤ 200 °C).
● Sinterlenmiş silisyum karbür rulmanlar. Oda sıcaklığında manyetik tahrikli pompa yatakları için endüstri standardı. Mükemmel sertlik, sıfıra yakın aşınma, evrensel kimyasal uyumluluk. Kısmi yağlamada PEEK'e göre daha az toleranslıdır; akışın kısa süreliğine sıfıra düşebileceği uygulamalarda kullanılıyorsa, kuru çalışma koruması ile birlikte kullanılmalıdır.
● Seramik izolasyon kabukları. Metal olmayan muhafaza kabukları, girdap akımı kayıplarını ortadan kaldırır (dönen manyetik alandan kaynaklanan kabukta ısınma olmaz), bu da birkaç watt'lık parazitik ısının bile döngüyü bozabileceği kriyojenik sıcaklıklarda önemlidir. Seramik kabuklar ürünlerimizde standarttır. AYDH sıvı azot pompası.
Ana akım PFPE soğutucu servisleri için tipik konfigürasyon, ayna cilalı 316L ıslak parçalar, silisyum karbür yataklar ve ince metalik bir muhafaza kabuğudur. HF yatakları veya ıslak tezgah kullanımı için tam PTFE astar kullanılır. Sıfırın altındaki hassas ölçümler için PEEK yataklı seramik gövde kullanılır. Karar ağacı, tek bir "en iyi" konfigürasyona değil, istasyona net bir şekilde eşlenir.
8. Yarı İletken Soğutucu ve TCU Pompaları için Boyutlandırma Yöntemi
Yarı iletken soğutma sıvısı servisi için bir pompanın boyutlandırılması altı adımlı bir protokoldür. Aşağıdaki kısaltılmış sürüm, bir OEM TCU üreticisi veya fabrika mühendislik ekibi bize bir spesifikasyon gönderdiğinde uygulama mühendislerimizin kullandığı yöntemdir:
● Adım 1 — Soğutucu sıvıyı ve soğuk çalışma sıcaklığındaki yoğunluğunu belirleyin. Galden HT80'in -40 °C'deki yoğunluğu yaklaşık 1,92 g/cm³'tür. Pompa hidrolik gücü yoğunlukla orantılıdır, bu nedenle 1,5 kW'lık bir su pompası, aynı debi ve basınçta 2,9 kW'lık bir PFPE pompasına dönüşür.
● Adım 2 — Soğutma yükünü ve gerekli akışı hesaplayın. Devre boyunca izin verilen ΔT ile Q kW güç tüketen bir alet için hacimsel akış V[L/dak] = Q[kW] / (ρ[kg/L] × Cp[kJ/kg·K] × ΔT[K] / 60) formülüyle hesaplanır. Galden HT80'in Cp değeri ~0,97 kJ/kg·K'dir; 3 °C ΔT'de 5 kW'lık bir alet yükü için bu değer yaklaşık 53 L/dak'ya denk gelir. Azaltma payı için 1,3 kat çarpanı uygulayın.
● Adım 3 — Sistem başlığını hesaplayın. Statik basınç, boru hattı sürtünmesi (soğuk PFPE'nin daha yüksek viskozitesini hesaba katın) ve alet tarafındaki soğuk plaka boyunca oluşan basınç düşüşünü toplayın. Kompakt alet plakalarını besleyen yarı iletken TCU'lar için toplam basınç genellikle 3-8 bar arasındadır.
● Adım 4 — NPSH marjını kontrol edin. Düşük sıcaklıklarda Galden'in buhar basıncı çok düşüktür ve NPSH nadiren sınırlayıcıdır; kaynama noktasına yakın HFE servis koşullarında ise NPSH baskın hale gelir. Emme tarafı koşullarını açıkça belirtin ve mevcut NPSH'ye %30 ek pay bırakacak şekilde derecelendirilmiş bir pompa seçin.
● Adım 5 — Pompa mimarisini titreşim toleransına uygun hale getirin. Litografi, metroloji ve muayene için: rejeneratif türbinli manyetik girdap pompası. Islak tezgah ve CMP için: PTFE astarlı manyetik pompa. Test ve yakma işlemi için: standart 316L manyetik tahrikli girdap pompası. Kriyojenik işlem adımları için: AYDH sıvı azot varyantı.
● Adım 6 — Numune sıvı testi ile doğrulama yapın. Katalog eğrileri su üzerinde üretilir. Yarı iletken açısından kritik uygulamalar için, tedarikçiden gerçek çalışma sıcaklığında, ölçülen titreşim ve kirlilik verileriyle birlikte, gerçek soğutucu sınıfında test yapmasını isteyin. Talep üzerine, Galden / Fluorinert / HFE servis teklifleri için bu doğrulamayı sağlıyoruz.
9. Aulank Yarı İletken Pompa Portföyü: MDW, AYDH, PWH, AMC-F
2015 yılından beri yarı iletken sektörüne manyetik tahrikli ve kapalı motorlu pompalar tedarik ediyoruz. Aktif projelerimiz arasında, düşük sıcaklıkta florlu sıvı transferi için özel senkron kalıcı mıknatıslı motorlarla MDW serisi pompalar kullanan Tayvanlı bir yarı iletken müşterisi, soğutucu entegrasyon testleri için MDW üniteleri kullanan Güney Koreli bir yarı iletken soğutucu ekipman üreticisi ve CMP, ıslak tezgah ve kriyojenik proses adımlarında çalışan çok sayıda Çin anakarası fabrika tesisi ve ekipman-OEM entegratörü bulunmaktadır. Genellikle bir yarı iletken fabrikası pompa malzeme listesi için önerdiğimiz portföy şöyledir:
● MDW paslanmaz çelik girdap manyetik pompa — Galden HT55–HT135 ve eşdeğer PFPE sıvıları için soğutma ve TCU devrelerinde en çok kullanılan ünite. 304/316L ıslak parçalar, ayna cilası, -40 ila +200 °C standart çalışma sıcaklığı. Tayvan ve Güney Kore'deki fabrika soğutma projelerine en sık gönderdiğimiz ünite.
● MDS paslanmaz çelik girdap manyetik tahrikli pompa — MDW ile aynı hidrolik ailesinden olup, daha büyük merkezi soğutma tesisleri ve alt fabrika yardımcı devreleri için daha yüksek akış kapasitesine sahiptir.
● AYDH manyetik sıvı azot pompası — -196 °C'ye kadar düşük sıcaklıklarda çalışma için kriyojenik olarak derecelendirilmiştir. Sıvı azot sirkülasyonunda, soğuk aşındırma aletlerinde, dondurarak kurutmada ve ultra düşük sıcaklıkta wafer işlem adımlarında kullanılır. Derin kriyojenik işlemden geçirilmiş pompa gövdesi ve seramik izolasyon kabuğu.
● PWH/PWD/PWM kutulu girdap pompası — Statik O-ringlerin bile maruz kalma yolu oluşturduğu yüksek saflıkta sürekli servis için tasarlanmış, kapalı motor varyantı. PFPE geri kazanım ve iyileştirme döngülerinde, VOC geri kazanımında ve en yüksek üretim saflık sınıflarındaki proses döngülerinde yaygındır.
● AMC-F PTFE astarlı manyetik tahrikli pompa — Islak tezgah, CMP bulamacı, elektrolit ve HF içeren veya asidik kimyasalların 316L'ye zarar verebileceği her türlü kullanım için tamamen PTFE astarlı ıslak parçalar. Metal iyonu kirliliği ppb seviyelerinde tutulmuştur.
Yarı iletken sektöründe özelleştirme genellikle şunları gerektirir: standart indüksiyon yerine senkron kalıcı mıknatıslı motorlar (bağlantı verimliliğini artırır ve titreşimi azaltır), alete entegre soğutucular için DC ve 24 V varyantları, temiz oda uyumlu kaplama ve paketleme, mevcut TCU ayak izine uyacak özel flanş boyutları, HFE ve DMC buhar bölgeleri için patlamaya dayanıklı varyantlar ve fabrika yeterliliği için malzeme izlenebilirliği içeren eksiksiz denetim kayıtları.
Manyetik girdap pompalarımız TÜV CE sertifikasına sahiptir, daha geniş ürün yelpazemiz ISO 9001 ve CE kalite gerekliliklerine uygundur ve bu ürün ailesinde kullanılan senkron kalıcı mıknatıslı tahrik yapısı, kriyojenik mıknatıs bağlantısı ve korumalı girdap hidroliği konularını kapsayan 50'den fazla teknik patente sahibiz.
Yarı İletken Soğutma Pompası Yapılandırması Edinin
İster soğutma üniteleri, TCU'lar veya wafer işleme araçları üreten bir OEM olun, ister yeni bir hat veya PFPE geçiş projesi için pompa belirleyen bir son kullanıcı fabrika olun, mühendislik ekibimiz her istasyona uygun manyetik tahrikli pompa mimarisini eşleştirebilir ve bunu gerçek soğutma sıvısı kalitenize ve çalışma koşullarınıza göre doğrulayabilir.
Ekibimizle iletişime geçin: Bize Ulaşın | WhatsApp: +86 13773157367 | E-posta: [email protected]
İlgili ürün ve çözüm sayfalarına göz atın: