Yüksek saflık, korozyon veya sızıntıdan farklı bir pompalama sorunudur ve bu üçünü karıştırmak kolaydır. Bir korozyona dayanıklı pompa çözümleri pompa, akışkanın pompaya saldırmaması için yapılır. Bir sızdırmaz pompa çözümleri pompa, akışkanın pompadan kaçmaması için yapılır. Yüksek saflıkta bir pompa, üçüncü ve daha sessiz bir gereksinimi karşılamalıdır: akışkan pompadan girdiği kadar saf çıkmalıdır. Bu, pompanın kendisinin hiçbir şey eklememesi demektir — salmastradan aşınan partiküller, ıslak bir yüzeyden sızan metal iyonları, organik karbon, yağlayıcı veya yıkama suyu yok. Yarı iletken, elektronik, ilaç ve ince kimya proseslerinde milyarda parça düzeyinde ölçülen bir katkı, ürünü hurdaya çıkarmaya yeter. Bu düzeyde saflık bir lüks değil — ürün spesifikasyonudur; sessizce kirlenme ekleyen bir pompa, bir parti wafer'a veya büyük miktarda ilaç ara ürününe, pompanın değerinden çok daha pahalıya mal olabilir. Bu sayfa, Aulank'ın salmastrasız ve florpolimer kaplı pompalarının yüksek saflıkta ve ultra saf akışkanları nasıl kirlenmeden koruduğunu anlatır ve en zorlu wafer fab görevlerinin nerede özel ekipman gerektirdiğini açıkça belirtir.
Yüksek saflık standart pompaları neden çökertir
Geleneksel bir pompa akışkanı hareket ettirmek için tasarlanmıştır, kusursuz tutmak için değil; ve sıradan özelliklerinin çoğu kirlenme kaynağıdır. Saflık sorunu, pompanın akışkana ne kattığıyla ilgilidir:
● Mekanik salmastra aşınma partikülleri. Bir mekanik salmastra iki yüzeyi birbirine sürter ve bu temas akışkana ince partiküller salar. Ayrıca yüzeyler arasında küçük bir sızıntı yoludur. Temiz oda akışkanı için, sağlam bir salmastradan geçen eser bile genellikle fazladır — salmastra hem bir sızıntı noktası hem de bir partikül üreticisidir.
● Salmastra yıkaması ve bariyer akışkanı. Zorlu görevlerde salmastralı pompalar, salmastraya bir yıkama veya bariyer akışkanı enjekte eder. Yüksek saflıkta bir sistemde bu yıkama, yabancı bir sıvının ürüne karışması için doğrudan bir yoldur.
● Metal iyonu ve metal sızması. Metal ıslak parçalar, agresif ultra saf kimyasallara ve deiyonize suya iyon salabilir — sodyum, potasyum, kalsiyum, demir. Bu iyonlar wafer'larda elektriksel kusurlara yol açar ve yarı iletken cihazları aşındırabilir veya değiştirebilir; metal kirlenmesi elektriksel özelliklerini doğrudan değiştirir.
● Organik karbon ve yağlayıcı girişi. Toplam organik karbon (TOC) silisyum oksidasyonunu, aşındırma tekdüzeliğini ve geçit oksidi kırılma gerilimini etkiler; bu nedenle her organik katkı önemlidir. Gres veya yağ yağlamalı yataklar tam olarak bu tür bir kirlenmenin kaynağıdır.
● Geçirme ve gaz çıkışı. Agresif kimyasallar yanlış ıslak malzemeye emilip yavaşça yeniden salınarak çapraz kirlenmeye ve proses reçetesinin kaymasına yol açabilir; organik kirleticiler ise akışkana veya temiz odaya gaz olarak çıkabilir.
● Pürüzlü yüzeyler ve ölü hacimler. Pürüzlü bir iç yüzey partikülleri tutar ve ultra saf suda bakterilere büyüyecek bir yer sunar; pompa içindeki durgun bölgeler ise akışa geri sızan kirliliği tutar.
● Akışkanlar arası taşınma. Bir pompa birden fazla kimyayla çalıştığında, ceplerde tutulan ve geçirgen bir ıslak yüzeye emilen sıvı bir sonraki akışkana taşınır; bir partiyi diğerine bulaştırır ve proses reçetesini kaydırır.
Aulank yaklaşımı: salmastrasız ve florpolimer, hiçbir şey eklemeden
Aulank'ın saflığa yanıtı, en büyük iki kirlenme kaynağını — dinamik salmastrayı ve reaktif ıslak metali — ortadan kaldırmak ve ıslak yolu inert ve pürüzsüz tutmaktır:
● Salmastra yok; yani salmastra partikülü veya yıkama yok. Salmastrasız manyetik tahrikli bir pompa, momenti statik bir muhafaza kabuğu üzerinden aktarır; böylece partikül salan sürtünen bir salmastra yüzeyi ve enjekte edilecek yıkama akışkanı yoktur. Salmastranın kaldırılması, hem partikül kaynağını hem de sızıntı yolunu tek adımda ortadan kaldırır — sızdırmaz pompa çözümleri çözümlerimizin arkasındaki aynı salmastrasız ilke, burada çevreyi değil ürünü korumak için uygulanır.
● Florpolimer ıslak yüzeyler. Bir PTFE veya PFA kaplama, çok düşük özütlenebilirliğe sahip inert, tepkimeye girmeyen bir ıslak yüzey sağlar; bu yüzden akışkana metal iyonu veya organik karbon sızdırmaz. Florpolimerler ıslak proses kimyasının tüm yelpazesine — asitler, bazlar, oksitleyiciler ve çözücüler — direnir ve düşük geçirgenlikleri emilimi ve çapraz kirlenmeyi sınırlar. İkisi kullanımda farklıdır: PTFE agresif yüksek saflık kimyası için genel amaçlı florpolimer kaplamadır; PFA ise daha yüksek basınç ve sıcaklığa dayanacak mekanik dayanımla daha pürüzsüz, daha az geçirgen bir yüzey sunar; bu nedenle yüksek saflıkta akışkan aynı zamanda sıcak olduğunda veya özütlenebilirliğin en düşük seviyeye indirilmesi gerektiğinde tercih edilir.
● Ürünle yağlanan yataklar. Silisyum karbür yataklar pompalanan akışkanın kendisiyle yağlanır; böylece yüksek saflıkta bir akışa göç edecek gres veya yağ yoktur.
● Florpolimerin gerekmediği yerlerde yüksek saflıkta paslanmaz çelik. Ultra saf ve deiyonize su için, pürüzsüz yüksek saflıkta paslanmaz çelik bir ıslak yol, pürüzlü bir yüzeyin davet ettiği partikül tutulmasına ve bakteri büyümesine direnir.
● Pürüzsüz, boşaltılabilir hidrolik. Temiz bir iç geometri, aksi takdirde kirliliğin birikip akışkana geri sızacağı durgun bölgeleri sınırlar.
Dürüst sınır önemlidir. En zorlu yarı iletken görevleri — tam partikül ve metal testleriyle milyarda tek haneli parça düzeyinde özütlenebilirliğe sertifikalı ultra yüksek saflıkta kimyasal dağıtımı — uzmanlık gerektiren bir alandır; CMP gibi aşındırıcı bulamaçlar ise katı maddeler çalışma boşluklarını aşındırdığı için hiç de manyetik tahrikli bir görev değildir. Aulank, yüksek saflıkta kimyasal transferi, dozajlama ve sirkülasyon için yüksek saflığa elverişli salmastrasız ve florpolimer kaplı pompalar sağlar; en zorlu wafer fab sertifikaları ve aşındırıcı bulamaç hizmeti, özellikle bunlar için üretilmiş ekipman gerektirir.
Pompa tipleri ve çalışma prensipleri
PTFE kaplamalı AMC-F manyetik tahrikli pompa (yüksek saflıkta agresif kimyasallar)
PTFE kaplamalı AMC-F manyetik tahrikli pompa, agresif kimya için temel yüksek saflık pompasıdır. Her ıslak yüzey, taşıyıcı bir gövde üzerine PTFE florpolimerdir ve tahrik tamamen salmastrasızdır; böylece akışkan yalnızca inert, düşük özütlenebilir bir yüzeye temas eder, partikül salacak salmastra yoktur. Hem kimyasal inertlik hem de temizliğin gerektiği yüksek saflıkta asitler, oksitleyiciler ve çözücüler için uygundur — florpolimer ıslak yol ile hermetik manyetik tahrikin birleşimi.
AMC-L kimyasal proses manyetik tahrikli pompası (yüksek saflıkta proses ve sirkülasyon)
Yüksek saflıkta kimyasal proses ve sirkülasyon görevleri için AMC-L kimyasal proses manyetik tahrikli pompası, salmastrasız manyetik tahriki akışkana göre seçilmiş proses sınıfı ıslak malzemelerle birleştirir. Pompanın kirlenme katmadan veya salmastra revizyonu gerektirmeden yıllarca çalışması gereken sürekli yüksek saflık sirkülasyon döngüleri için tercih edilir. Daha geniş Kimyasal Pompa Serisi, farklı kimyalar için malzeme seçeneklerini kapsar.
Ultra saf ve DI su için salmastrasız paslanmaz çelik pompalar
Ultra saf ve deiyonize su farklı bir saflık görevidir: burada endişe, agresif saldırıdan çok partiküller, TOC ve bakteri büyümesidir. Burada pürüzsüz, yüksek saflıkta paslanmaz çelik salmastrasız bir pompa uyar — daha yüksek debili sirkülasyon döngüleri için CPS-L paslanmaz çelik yüksek debili santrifüj pompa ve görevin daha düşük debide yüksek basma yüksekliği gerektirdiği yerlerde Manyetik Vorteks Pompa Serisi. Ultra saf su sistemleri, özdirenci korumak ve bakteri büyümesini bastırmak için genellikle sürekli sirkülasyonda tutulur; böylece pompa günün her saati çalışır. Pürüzsüz bir ıslak yola sahip salmastrasız bir tasarım bu göreve uyar; çünkü döngüye partikül katmaz ve bir biyofilmin tutunacağı pürüzlü bir yüzey sunmaz.
Yüksek saflıkta pompalamanın gerçek bir sorunu çözdüğü yerler
Saflık gereksinimi, kirlenme kontrolüyle var olan veya yok olan endüstrilerde ortaya çıkar:
● Yarı iletken ıslak kimyasalları. Wafer temizleme ve aşındırmada kullanılan asitlerin, bazların, oksitleyicilerin ve çözücülerin transferi ve dozajlanması — hidroflorik asit, sülfürik asit-peroksit karışımları, amonyak ve hidroklorik temizleme kimyaları —; burada sızan bir iyon veya salınan bir partikül bir wafer'a düşer ve verim kaybı olarak görünen bir kusura dönüşür. Aulank'ın bu sektördeki rolü yarı iletken fablarında kimyasal pompa talebi hakkındaki notumuzda ele alınmıştır.
● Ultra saf ve DI su. Elektronik ve ilaç sistemlerinde ultra saf suyun sirkülasyonu; burada yüzey pürüzlülüğü ve ölü hacimler partikül ve mikrobiyal büyüme tohumlar.
● Elektronik sınıfı ve ince kimyasallar. Metal iyonu kapılmasının veya organik kirlenmenin ürünü spesifikasyon dışına çıkaracağı yüksek saflıkta proses kimyasalları ve elektronik sınıfı çözücülerle çalışmak.
● Yüksek saflıkta ilaç akışkanları. Hem kirlenme kontrolünün hem de sızdırmazlığın geçerli olduğu yüksek saflıkta çözücülerin ve proses sıvılarının transferi — her görevin gerektirdiği belirli hijyenik sertifikanın sınırları içinde.
● Yüksek saflıkta batarya malzemeleri. Eser kirlenmenin elektrokimyasal performansı düşürdüğü batarya malzemesi üretiminde yüksek saflıkta elektrolitlerin ve çözücülerin taşınması ve dozajlanması.
● Ekran ve fotovoltaik kimyası. Düz panel ekran ve güneş pili hatlarında elektronik sınıfı aşındırıcıların, geliştiricilerin ve temizleme kimyasallarının sirkülasyonu ve transferi; burada wafer işlemedeki aynı partikül ve iyon sınırları çok daha büyük altlık alanları üzerinde geçerlidir.
Pompayı saflık gereksinimine uyarlama
Başlangıç noktası olarak akışkan ve saflık gereksinimi pompayı işaret eder — görevin bir manyetik tahrikli pompanın kapsamı dışında kaldığı dürüst durum da dahil:
| Saflık görevi | Akışkan | Temel gereksinim | Önerilen pompa |
| Yüksek saflıkta agresif kimyasal transferi | HF, asitler, oksitleyiciler, çözücüler | İnert florpolimer, salmastrasız, sızma yok | PTFE kaplamalı AMC-F manyetik tahrikli |
| Yüksek saflıkta kimyasal proses ve sirkülasyon | Elektronik sınıfı kimyasallar | Salmastrasız, temiz ıslak yol, partikül yok | AMC-L manyetik tahrikli |
| Ultra saf / DI su sirkülasyonu | Ultra saf su (UPW), deiyonize su | Pürüzsüz yüksek saflıkta paslanmaz çelik, salmastrasız, düşük TOC | CPS-L paslanmaz / vorteks manyetik |
| Yüksek saflıkta dozajlama ve ölçümleme | Temiz katkılar, reaktifler | Nabızsız, sızdırmaz, kirlenmesiz | MDC-K manyetik dişli pompa |
| CMP bulamacı veya sertifikalı UHP wafer görevi | Aşındırıcı bulamaç / UHP sertifikalı | Aşınma dayanımı veya sub-ppb sertifikasyonu | Özel ekipman (Aulank ürün grubu dışında) |
Tablo bir ilk yaklaşımdır. Gerçek seçim, aşağıdaki ıslak malzeme ve temizlik ayrıntılarına ve görevin gerçekte gerektirdiği sertifikasyon düzeyine bağlıdır. Salmastrasız tahrikin ardındaki mühendislik için manyetik tahrikli pompa seçim kılavuzu sayfamıza bakın.
Temel seçim kriterleri
Yüksek saflıkta bir pompa belirlerken, akışkanın temiz kalıp kalmayacağını belirleyen parametreler şunlardır:
● Islak malzemeler. Agresif yüksek saflık kimyası için florpolimer kaplama (PTFE veya PFA) ya da ultra saf su için yüksek saflıkta paslanmaz çelik — hem kimyaya hem de özütlenebilirlik sınırına göre eşleştirilir.
● Özütlenebilirlik ve sızma sınırı. Akışkanın ne kadar temiz kalması gerektiği; pompanın yapmasına izin verilen iyonik, metalik ve organik katkı olarak ifade edilir ve malzemeyi ile yüzey işlemini belirler.
● Partikül üretimi. Tasarımın partikül kaynaklarından kaçınıp kaçınmadığı — salmastrasız bir tahrik salmastrayı ortadan kaldırır ve yatak seçimi aşınma partikülü üretimini yönetir.
● Yüzey işlemi ve temizlenebilirlik. Su sistemlerinde partikül tuzaklarından, ölü hacimlerden ve bakteri büyümesinden kaçınmak için pürüzsüz bir ıslak yüzey ve boşaltılabilir bir geometri.
● Sıcaklık. Yüksek saflıkta akışkanın sıcak olup olmadığı; çünkü saflık ile daha yüksek sıcaklığın bir araya geldiği yerlerde PFA, PTFE'den daha iyi dayanır.
● Çalışma noktası. Bir transfer veya sirkülasyon döngüsü için debi ve basma yüksekliği ya da bir dozajlama görevi için ölçülen hacim ve ayar aralığı.
● Sertifikasyon düzeyi. Görevin karşılaması gereken saflık standardı — ve yüksek saflıkta bir endüstriyel pompanın bunu karşılayıp karşılamadığının veya özel sertifikalı bir pompanın gerekip gerekmediğinin dürüst bir kontrolü.
Prosesiniz için bir yüksek saflık pompa konfigürasyonu alın
Bize akışkanı ve saflık gereksinimini, sıcaklığı, debi ve basma yüksekliğini veya ölçülen dozu ve karşılamanız gereken özütlenebilirlik ya da temizlik sınırını bildirin; mühendislik ekibimiz görev için salmastrasız, florpolimer kaplı veya yüksek saflıkta paslanmaz çelik bir pompa yapılandıracaktır — ya da özel sertifikalı bir pompanın ne zaman doğru tercih olduğunu açıkça söyleyecektir. Malzeme seçenekleri Kimyasal Pompa Serisi kapsamındadır.
Ekibimizle konuşun: Aulank ile iletişime geçin | WhatsApp: +86 13773157367 | E-posta: info@aulankpump.com
İlgili okuma: korozyona dayanıklı pompa çözümleri · manyetik tahrikli pompa seçim kılavuzu