Pompes pour le refroidissement des semi-conducteurs : Guide de sélection des pompes à entraînement magnétique pour les systèmes de refroidissement Galden, Fluorinert et HFE

La fabrication de semi-conducteurs repose sur une maîtrise parfaite de la température. Chaque étape d'une usine de pointe (lithographie EUV, polissage chimico-mécanique, gravure plasma, dépôt chimique en phase vapeur, implantation ionique, métrologie optique) dépend du maintien des fluides côté outil à une température de consigne stable, souvent à ±0,1 °C près. Les refroidisseurs et les unités de contrôle de température (TCU) qui assurent cette stabilité sont vendus comme équipements finis, mais le composant qui fait circuler le fluide de refroidissement est une pompe. En cas de panne, de pulsation ou de contamination du circuit par cette pompe, la plaquette est soit mise au rebut, soit renvoyée après inspection avec des défauts subtils que personne ne souhaite corriger. Depuis plus de dix ans, nous fournissons des pompes à entraînement magnétique pour des projets de refroidissement de semi-conducteurs et de fluides de refroidissement fluorés à Taïwan, en Corée du Sud et en Chine continentale. Parmi ces projets, un projet taïwanais de longue durée fournit des pompes de la série MDW équipées de moteurs à aimants permanents synchrones, spécialement conçues pour le transfert de fluide de refroidissement PFPE à des températures inférieures à zéro.

Ce guide explique comment choisir une pompe pour le refroidissement des semi-conducteurs en 2026, année où l'industrie construira simultanément plus de 18 nouvelles usines de fabrication de semi-conducteurs de 300 mm, repoussera les températures de traitement jusqu'à -80 °C et abandonnera les fluides Fluorinert et Novec de 3M, désormais abandonnés, au profit du PFPE de Galden et de fluides HFE de fournisseurs tiers. Les pompes qui fonctionnaient il y a cinq ans ne sont plus forcément les bonnes aujourd'hui.

1. Le défi des pompes de refroidissement pour semi-conducteurs : de la lithographie EUV au polissage chimico-mécanique et à la gravure

Une usine de fabrication moderne compte plus d'une douzaine de catégories d'outils nécessitant un refroidissement liquide actif. Chacune utilise un fluide différent, possède une température de consigne différente et une tolérance différente aux perturbations induites par la pompe. Comprendre l'ensemble de ces éléments est indispensable pour un choix judicieux de la pompe.

● Refroidissement de la source et du scanner pour la lithographie EUV — −20 °C à +25 °C, PFPE ou mélange glycol-eau, budget de pulsation extrêmement serré car l’alignement optique dérive avec les vibrations.

● Banc de polissage humide et CMP (polissage chimico-mécanique) — suspensions et produits chimiques de nettoyage à température contrôlée, souvent entre 20 et 40 °C, avec des exigences de pureté élevées (pas d’ions métalliques dans le circuit de la suspension).

● Gravure plasma et refroidissement du porte-échantillon du réacteur PECVD — −40 °C à +80 °C, liquide de refroidissement en PFPE fluoré en contact direct avec les mandrins électrostatiques et les têtes de douche.

● Refroidissement de la ligne de faisceau d'implantation ionique — généralement de l'eau glycolée, mais les boucles secondaires pour les implanteurs à haute énergie utilisent du PFPE.

● Outils d'inspection et de métrologie — Inspection optique, métrologie par faisceau d'électrons, inspection de masques. Contrôle de ±0,1 °C avec une pulsation de débit quasi nulle ; c'est là que l'architecture de la pompe est primordiale.

● Test et rodage — chambres de choc thermique faisant tourner les puces entre −65 °C et +155 °C dans des bains biphasés Fluorinert/Galden.

● Étapes du procédé cryogénique — gravure à froid à −100 °C, préchauffage de l'échantillon à −196 °C avec de l'azote liquide pour l'empilement avancé de NAND 3D et HBM.

● Boucles utilitaires de sous-fabrication — Eau de refroidissement de procédé (PCW), eau ultrapure, récupération des boues. Précision moindre, débit plus élevé.

Cinq contraintes d'ingénierie sont communes à toutes ces stations : étanchéité parfaite pour préserver l'air des salles blanches et les stocks coûteux de PFPE, contamination du fluide par les ions métalliques extrêmement faible, débit sans pulsation au niveau des outils de lithographie et d'inspection, fonctionnement continu à des températures allant de −196 °C à +290 °C et compatibilité chimique avec les fluides caloporteurs fluorés dont les propriétés diffèrent sensiblement de celles de l'eau. Aucune architecture de pompe unique ne répond à ces cinq exigences simultanément. La solution consiste à choisir une gamme de pompes adaptée à chaque station.

2. Chimie des fluides de refroidissement fluorés : comparaison des fluides Galden PFPE, Fluorinert FC et HFE

Avant de choisir une pompe, il est essentiel de connaître le fluide. Les trois familles de fluides qui dominent le refroidissement des semi-conducteurs sont les perfluoropolyéthers (PFPE, commercialisés sous la marque Galden par Syensqo/anciennement Solvay), les perfluorocarbures (PFC, commercialisés sous la marque Fluorinert par 3M) et les hydrofluoroéthers (HFE, commercialisés par 3M sous la marque Novec). Du point de vue d'un ingénieur de procédés, ils présentent une apparence similaire — transparents, diélectriques et inertes — mais leurs propriétés de pompage diffèrent considérablement.

Principales caractéristiques à prendre en compte pour le choix d'une pompe :

Trois points importants à noter. Premièrement, les fluides Galden PFPE et Fluorinert PFC sont environ deux fois plus denses que l'eau ; une pompe dimensionnée pour l'eau sera donc sous-dimensionnée pour le PFPE, car à puissance hydraulique égale, le volume déplacé est moindre. Deuxièmement, la viscosité du Galden augmente fortement avec la température ; en dessous de −50 °C, même la qualité HT55 à bas point d'ébullition approche la limite de 20 cP à partir de laquelle les systèmes hydrauliques centrifuges commencent à perdre en efficacité. Troisièmement, ces fluides coûtent entre 200 et 500 USD le kilogramme ; chaque fuite représente une perte de stock, chaque litre contaminé nécessite une opération de recyclage et chaque goutte sur le sol de la salle blanche provoque un incident HSE.

3. Le retrait de 3M : pourquoi les spécifications des pompes sont réexaminées dans l’ensemble du secteur

En décembre 2022, 3M a annoncé son retrait total du marché des substances perfluoroalkylées et polyfluoroalkylées (PFAS) d'ici fin 2025. La première mesure concrète est intervenue en octobre 2024 avec l'arrêt de la production du Fluorinert FC-3283, un fluide frigorigène monophasique essentiel utilisé dans d'innombrables refroidisseurs de semi-conducteurs et stations de test et de rodage. Fin 2025, la production des lignes Novec et Fluorinert était entièrement arrêtée. Les équipes de planification des usines, les fabricants d'unités de commande de température (TCU) et les fournisseurs de pompes, comme nous, ont tous dû gérer les conséquences de cette décision.

Pour le choix de la pompe, les conséquences sont concrètes :

● Le passage au PFPE Galden modifie le point de fonctionnement hydraulique. Le PFPE présente une viscosité plus élevée à basse température que les fluides Fluorinert qu'il remplace. La courbe de performance d'une pompe établie pour le FC-3283 à −40 °C n'est plus valable pour le Galden HT80 à la même température. Les régulateurs de température existants, qui fonctionnaient correctement avec les fluides FC, peuvent dévier de leur point de consigne après un changement de fluide.

● Les alternatives au HFE ont une densité plus faible mais une pression de vapeur plus élevée. Le Novec 7100 bout à +61 °C ; si la pompe fonctionne à une température proche de celle-ci, la marge NPSH devient la spécification critique plutôt que la hauteur manométrique. La cavitation apparaît plus tôt dans le cycle de fonctionnement que sur le PFPE.

● Les fluides recyclés et provenant de tiers introduisent une variabilité de pureté. TMC, BestSolv et d'autres fournisseurs proposent des solutions de remplacement pour les fluides FC-3283 et Novec, y compris des matériaux recyclés. La pureté, la granulométrie et la teneur en métaux dissous varient d'un lot à l'autre. Une pompe à chemises internes trempées ou non métalliques préserve le rendement, contrairement à une pompe standard en acier inoxydable.

● La pression réglementaire sur les PFAS continue de s'intensifier. Les restrictions REACH sur les PFAS à longue chaîne, l'application par l'EPA américaine des réglementations sur le PFOA/PFOS et les propositions de réglementation plus large sur les composés fluorés continuent d'inciter les usines de fabrication de semi-conducteurs à adopter des systèmes de confinement zéro émission. Les pompes à garniture mécanique utilisées avec des PFPE ne représentent plus seulement un risque de maintenance, mais aussi un risque de non-conformité environnementale. Nous avons abordé le contexte réglementaire global dans notre [référence manquante]. Guide sur la réglementation relative aux PFAS et aux exigences en matière de pompes chimiques.

4. Ingénierie pour les très basses températures : pourquoi le pompage à −80 °C est différent

La plupart des catalogues de pompes publient des courbes de performance pour une température d'eau de 20 °C. Les pompes de refroidissement pour semi-conducteurs fonctionnent dans un régime où ces données sont quasiment inutiles. Trois effets thermiques prédominent en fonctionnement à des températures négatives :

contraction thermique et perte de dégagement

L'acier inoxydable se contracte d'environ 0,3 % entre la température ambiante et −80 °C, et de 0,1 % supplémentaire jusqu'à −196 °C. Les composants en plastique se contractent davantage. Si une pompe est conçue avec des jeux réduits à 20 °C, ces jeux disparaissent aux températures cryogéniques et un contact métal-métal se produit en quelques secondes. La solution consiste à spécifier des jeux asymétriques : une pompe destinée à fonctionner à −80 °C est usinée avec des jeux de fonctionnement qui paraissent importants à température ambiante, mais qui se resserrent pour atteindre l'ajustement correct à température de fonctionnement.

Performances de l'aimant en fonction de la température

Les aimants néodyme-fer-bore (NdFeB), généralement utilisés pour les pompes à entraînement magnétique à température ambiante, subissent une perte de flux magnétique lorsque la température descend en dessous de leur point de conception et le récupèrent une fois réchauffés. Ils ne se démagnétisent pas aux températures cryogéniques comme ils le font au-dessus de leur point de Curie, mais le couple de couplage peut chuter de 10 à 20 % à −80 °C. Pour les applications à très basse température, nous surdimensionnons généralement le couple de couplage de 25 à 30 %, en plus de la pénalité de viscosité au démarrage à froid. Sur la pompe à azote liquide AYDH, nous utilisons des empilements d'aimants cryogéniques spécifiques qui maintiennent le couple jusqu'à −196 °C.

Lubrification des roulements dans un fluide non lubrifiant

Les pompes à entraînement magnétique utilisent le fluide de process pour lubrifier les paliers internes en carbure de silicium ou en PEEK. Les fluides de refroidissement fluorés présentent une tension superficielle très faible et une lubrification limite quasi inexistante, surtout à basse température. Le jeu entre le palier et l'arbre, ainsi que le matériau du palier, doivent être adaptés au fluide de refroidissement utilisé. Les paliers en carbure de silicium fonctionnent de manière fiable avec le PFPE jusqu'à -70 °C ; en dessous de cette température, les paliers en polymère PEEK sont plus performants que ceux en carbure de silicium car ils tolèrent mieux une lubrification insuffisante. Pompe à azote liquide magnétique AYDH, le système de roulement est spécialement conçu pour un fonctionnement à −196 °C avec des composants traités cryogéniquement et des coques d'isolation en céramique.

5. Pourquoi une architecture d'entraînement magnétique est-elle indispensable pour le service de liquide de refroidissement fluoré ?

Pour le refroidissement des semi-conducteurs, la pompe à joint mécanique est désormais obsolète. Trois raisons expliquent cela :

● Les stocks de liquide de refroidissement fluoré sont trop coûteux pour qu'une fuite survienne. Une charge de 500 litres de fluide frigorigène Galden HT135 représente un stock de fluide de 100 000 à 250 000 USD. Une fuite au niveau du joint d'arbre, entraînant une perte de 1 % de la charge par mois, représente une perte annuelle de plusieurs centaines de milliers à six chiffres, avant même tout impact sur la santé, la sécurité et l'environnement ou sur les salles blanches. L'écart de coût d'investissement entre un système à entraînement magnétique et un système à joint mécanique est amorti en quelques mois.

● Les protocoles HSE des salles blanches ne tolèrent pas les émissions fugitives. Les gouttelettes de PFPE présentes dans l'air des salles blanches ne se contentent pas de contaminer les plaquettes ; elles entraînent des arrêts immédiats des installations. L'absence de joint d'étanchéité est de plus en plus souvent intégrée aux spécifications des unités de contrôle de température (TCU) et des refroidisseurs par les principaux acheteurs de fonderies.

● Le service continu 24h/24 et 7j/7 ne prévoit aucune période de maintenance. Une usine de semi-conducteurs fonctionne en continu pour la production de plaquettes. Les joints mécaniques se dégradent de façon prévisible et leur durée de vie ne correspond pas à celle de l'usine. Les pompes à entraînement magnétique équipées de paliers en carbure de silicium ont démontré un MTBF supérieur à 50 000 heures en salle blanche, ce qui signifie qu'un changement de palier planifié coïncide avec un arrêt de l'usine plutôt que de le provoquer.

Pour des informations techniques plus détaillées sur l'architecture, notamment la sélection des aimants, les pertes par courants de Foucault dans les enveloppes métalliques et le couple de découplage, consultez notre [référence manquante]. Guide de sélection des pompes à entraînement magnétique industriellesPour les applications à fonctionnement continu où même un joint torique statique à enveloppe pleine est inacceptable, la variante à moteur encapsulé va encore plus loin : le rotor du moteur tourne à l’intérieur du fluide de procédé derrière une fine enveloppe métallique, éliminant complètement le couplage magnétique. guide technologique des pompes à moteur encapsulé décrit les trois variantes structurelles de l'entraînement sans joint.

6. Contrôle des pulsations pour les outils EUV, de métrologie optique et d'inspection de plaquettes

Parmi toutes les contraintes pesant sur une pompe de refroidissement pour semi-conducteurs, la pulsation est celle qui surprend le plus les intégrateurs novices. La platine porte-objet d'un scanner EUV garantit un alignement positionnel au nanomètre près. La colonne optique d'un outil d'inspection par faisceau d'électrons permet de résoudre des détails inférieurs à 5 nm. Toute vibration induite par l'écoulement dans le circuit de refroidissement transmet des interférences mécaniques au sous-système optique ou mécanique et dégrade la résolution. Les fabricants d'outils spécifient la pompe comme une source de vibrations, et non comme un simple composant assurant le débit et la pression.

Trois causes de pulsations indésirables côté pompe dans ce service :

● Pulsations des dents d'engrenage dans les pompes à engrenages externes — petites variations périodiques du débit lorsque les dents d'engrenage s'engrènent et se désengrènent.

● Mouvement alternatif dans les pompes à piston ou à membrane — fortes variations de débit périodiques entre les courses ; inacceptable pour toute application de précision.

● Pulsations de cavitation près de la limite NPSH — écoulement irrégulier dû à la formation et à l'effondrement de bulles de vapeur, en particulier sur les applications HFE où le point d'ébullition est proche de la température de fonctionnement.

Configurations que nous préconisons pour les services semi-conducteurs à faible pulsation :

● Pompes à vortex à entraînement magnétique (turbine régénérative). Nos séries MDW et MDS produisent un débit quasi continu avec une pulsation crête à crête généralement inférieure à 2 % au point de fonctionnement nominal. La turbine régénérative transfère l'énergie par de nombreux petits paliers sur sa périphérie plutôt que par des passages de pales distincts, ce qui lisse intrinsèquement le débit. C'est cette configuration que nous avons fournie pour de nombreux projets de refroidisseurs de semi-conducteurs à Taïwan et en Corée du Sud.

● Entraînement de moteur CC sans balais avec contrôle de vitesse en boucle fermée. Les moteurs synchrones à aimants permanents, avec variateur de fréquence ou commande CC par capteur, maintiennent la vitesse de rotation à ±0,5 %, éliminant ainsi les ondulations de débit dues aux variations de vitesse. Cette technologie, parmi nos 10 technologies clés, est intégrée de série à nos pompes conformes aux spécifications des semi-conducteurs.

● Accumulateur de décharge ou amortisseur de vessie. Pour les stations les plus sensibles aux pulsations (scanners EUV, colonnes à faisceau d'électrons), un petit accumulateur placé à la sortie de la pompe permet de réduire les pulsations résiduelles à moins de 0,5 % crête à crête. Il s'agit d'un ajout au niveau du système plutôt que d'une caractéristique de la pompe, mais il est important de le préciser.

7. Matériaux et pièces en contact avec le fluide : paliers en acier inoxydable 316L, PTFE, PEEK et céramique

Les fluides de refroidissement fluorés sont chimiquement inertes vis-à-vis de presque tous les agents contaminants, mais la contamination provenant de la pompe et pénétrant dans l'atelier n'est pas due au fluide de refroidissement lui-même ; elle provient des dépôts que ce dernier dépose sur les surfaces en contact avec le fluide au cours de milliers d'heures de fonctionnement. Le choix des matériaux est donc dicté par la maîtrise de la contamination, et non par la compatibilité chimique.

● Acier inoxydable 316L. Matériau de référence pour les pompes à semi-conducteurs destinées aux refroidisseurs. Poli miroir à Ra 0,2 µm ou mieux afin de minimiser le détachement de particules. Convient pour une utilisation avec des fluides PFPE pendant des décennies ; ne convient pas aux fluides de process contenant du HF (c’est pourquoi les pompes utilitaires de fabrication et les pompes à électrolyte/CMP doivent être revêtues de fluoropolymère).

● Revêtement en fluoropolymère PTFE/PFA. Pour les applications ultra-pures ou les réactions chimiques contenant des traces de HF ou d'espèces acides (CMP, bain humide, récupération d'électrolyte), la construction entièrement revêtue de PTFE élimine la lixiviation des ions métalliques jusqu'à des niveaux de ppb. Pompe à entraînement magnétique AMC-F à revêtement PTFE est conçu pour cette catégorie de service.

● Composants de paliers et d'enveloppe de confinement en polymère PEEK. Choisi pour les applications à températures négatives où la contraction thermique fragilise les coques en céramique, le PEEK présente une excellente résistance cryogénique et une inertie chimique remarquable ; son principal inconvénient est sa température limite inférieure (généralement ≤ 200 °C).

● Roulements en carbure de silicium fritté. Norme industrielle pour les paliers de pompes à entraînement magnétique fonctionnant à température ambiante. Excellente dureté, usure quasi nulle, compatibilité chimique universelle. Moins tolérant que le PEEK en cas de lubrification limite ; à utiliser avec une protection contre le fonctionnement à sec si le débit peut chuter brièvement à zéro.

● Coques d'isolation en céramique. Les enveloppes de confinement non métalliques éliminent les pertes par courants de Foucault (absence d'échauffement induit dans l'enveloppe par le champ magnétique rotatif), ce qui est crucial aux températures cryogéniques où même quelques watts de chaleur parasite peuvent perturber le circuit. Les enveloppes en céramique sont montées de série sur nos appareils. Pompe à azote liquide AYDH.

Pour les applications courantes des refroidisseurs PFPE, la configuration typique comprend des pièces en contact avec le fluide en acier inoxydable 316L poli miroir, des paliers en carbure de silicium et une fine enveloppe métallique. Pour les applications avec paliers haute pression ou en laboratoire, un revêtement complet en PTFE est requis. Pour la métrologie de précision à températures négatives, une enveloppe en céramique avec paliers en PEEK est utilisée. L'arbre de décision s'adapte précisément à la station, et non à une configuration « optimale » unique.

8. Méthode de dimensionnement des pompes pour refroidisseurs de semi-conducteurs et des unités de contrôle de température (TCU)

Le dimensionnement d'une pompe pour le refroidissement des semi-conducteurs suit un protocole en six étapes. La version abrégée ci-dessous est celle utilisée par nos ingénieurs d'application lorsqu'un fabricant de TCU OEM ou une équipe d'ingénierie de fabrication nous envoie un cahier des charges :

● Étape 1 — Identifier le fluide de refroidissement et sa densité à la température de fonctionnement froide. Le Galden HT80 à −40 °C a une densité d'environ 1,92 g/cm³. La puissance hydraulique d'une pompe est proportionnelle à sa densité ; ainsi, une pompe à eau de 1,5 kW devient une pompe PFPE de 2,9 kW pour un même débit et une même hauteur manométrique.

● Étape 2 — Calculer la charge de refroidissement et le débit requis. Pour un outil dissipant une puissance Q kW avec un ΔT admissible dans la boucle, le débit volumique est donné par la formule V [L/min] = Q [kW] / (ρ [kg/L] × Cp [kJ/kg·K] × ΔT [K] / 60). Le Galden HT80 a un Cp d'environ 0,97 kJ/kg·K ; pour une charge d'outil de 5 kW à un ΔT de 3 °C, cela correspond à environ 53 L/min. Appliquez un coefficient multiplicateur de 1,3 pour la marge de réduction.

● Étape 3 — Calculer l'en-tête du système. La somme de la hauteur statique, des pertes de charge dans la canalisation (dues à la viscosité plus élevée du PFPE froid) et de la chute de pression à travers la plaque froide côté outil est généralement de 3 à 8 bars pour les unités de contrôle de température (TCU) alimentant des plaques d'outils compactes.

● Étape 4 — Vérifier la marge NPSH. À basse température, la pression de vapeur du Galden est très faible et le NPSH est rarement un facteur limitant ; en service HFE, à proximité de son point d'ébullition, le NPSH devient prépondérant. Spécifiez explicitement les conditions d'aspiration et choisissez une pompe dimensionnée pour le NPSH disponible majoré de 30 %.

● Étape 5 — Adapter l'architecture de la pompe à la tolérance aux pulsations. Pour la lithographie, la métrologie et le contrôle : pompe à vortex magnétique à turbine régénérative. Pour les procédés en milieu humide et le polissage chimico-mécanique (CMP) : pompe magnétique à revêtement PTFE. Pour les tests et le rodage : pompe à vortex magnétique standard en acier inoxydable 316L. Pour les étapes de traitement cryogéniques : pompe à azote liquide AYDH.

● Étape 6 — Valider avec un test sur un échantillon de fluide. Les courbes de catalogue sont établies avec de l'eau. Pour les applications critiques en semi-conducteurs, demandez au fournisseur d'effectuer des tests avec le fluide caloporteur utilisé, à la température de fonctionnement réelle, en mesurant les pulsations et la contamination. Nous fournissons cette validation sur demande pour tout devis de service Galden / Fluorinert / HFE.

9. Portefeuille de pompes à semi-conducteurs Aulank : MDW, AYDH, PWH, AMC-F

Depuis 2015, nous fournissons des pompes à entraînement magnétique et à moteur encapsulé au secteur des semi-conducteurs. Parmi nos projets en cours, citons un client taïwanais du secteur des semi-conducteurs qui utilise des pompes de la série MDW avec des moteurs à aimants permanents synchrones sur mesure pour le transfert de liquides fluorés à basse température ; un fabricant sud-coréen d'équipements de refroidissement pour semi-conducteurs qui utilise des unités MDW pour les tests d'intégration de refroidisseurs ; et plusieurs intégrateurs d'outillage et de services généraux pour usines de fabrication de semi-conducteurs en Chine continentale, couvrant les étapes de polissage chimico-mécanique (CMP), de traitement par voie humide et de cryogénie. Voici la gamme de produits que nous recommandons généralement pour la nomenclature des pompes destinées aux usines de semi-conducteurs :

● Pompe magnétique vortex en acier inoxydable MDW — Le système de refroidissement par tubes et par thermocouples fonctionnant avec les fluides Galden HT55–HT135 et équivalents en PFPE. Pièces en contact avec le fluide en acier inoxydable 304/316L, finition polie miroir, plage de température standard de −40 à +200 °C. C'est le modèle que nous avons le plus souvent livré pour des projets de refroidissement d'usines à Taïwan et en Corée du Sud.

● Pompe à entraînement magnétique vortex en acier inoxydable MDS — même famille hydraulique que MDW avec une capacité de débit plus élevée pour les grandes centrales de refroidissement et les boucles utilitaires des sous-usines.

● Pompe à azote liquide magnétique AYDH — Conçue pour un fonctionnement cryogénique jusqu'à −196 °C. Utilisée dans la circulation d'azote liquide, les outils de gravure à froid, la lyophilisation et les étapes de traitement des plaquettes à très basse température. Corps de pompe traité cryogéniquement et enveloppe d'isolation en céramique.

● Pompe à vortex encapsulée PWH/PWD/PWM — La version à moteur encapsulé est conçue pour un service continu de haute pureté, où même les joints toriques statiques constituent une voie d'exposition. Elle est couramment utilisée dans les boucles de récupération et de recyclage du PFPE, la récupération des COV et les boucles de traitement pour les classes de pureté les plus élevées en salle blanche.

● Pompe à entraînement magnétique AMC-F à revêtement PTFE — Pièces en contact avec le fluide entièrement revêtues de PTFE pour banc humide, suspension CMP, électrolyte et toute application où une chimie contenant du HF ou acide attaquerait l'acier inoxydable 316L. La contamination par les ions métalliques est maintenue à des niveaux de ppb.

La personnalisation généralement demandée par le secteur des semi-conducteurs comprend : des moteurs synchrones à aimants permanents au lieu de moteurs à induction standard (améliorant l’efficacité du couplage et réduisant les pulsations), des variantes CC et 24 V pour les refroidisseurs intégrés à l’outillage, un revêtement et un emballage compatibles avec les salles blanches, des dimensions de bride personnalisées pour correspondre à l’empreinte TCU existante, des variantes antidéflagrantes pour les zones de vapeur HFE et DMC, et des dossiers d’inspection complets avec traçabilité des matériaux pour la qualification de l’usine.

Nos pompes à vortex magnétiques sont certifiées TÜV CE, notre gamme de produits plus étendue est conforme aux exigences de qualité ISO 9001 et CE, et nous détenons plus de 50 brevets techniques couvrant la structure d'entraînement à aimant permanent synchrone, le couplage magnétique cryogénique et l'hydraulique à vortex blindée utilisés dans cette famille de produits.

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Que vous soyez un fabricant d'équipement d'origine (OEM) construisant des refroidisseurs, des unités de contrôle de température (TCU) ou des outils de traitement de plaquettes, ou une usine de fabrication utilisant le système final et spécifiant des pompes pour une nouvelle ligne ou un projet de migration PFPE, notre équipe d'ingénieurs peut adapter l'architecture de pompe à entraînement magnétique appropriée à chaque station et la valider en fonction de la qualité réelle de votre liquide de refroidissement et de vos conditions de fonctionnement.

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